日本インテグリス合同会社 CR4シリーズ 空圧式PFAバルブ

1/4"オリフィス、ニ方弁

CR4シリーズは、PFAの接液部で構成された、コンパクトサイズのダイヤフラムバルブです。
配管が密集するマニホールドボックスなど、限られたスペースへの設置が容易なブロック形状のデザインです。
金属部品の露出がありませんので、耐腐食性にも優れています。

基本情報CR4シリーズ 空圧式PFAバルブ

【主な仕様】
接液部: PFA
その他: PVDF、フッ素ゴム、SST
オリフィス: 1/4"
流体温度: 21〜160 ºC
接続チューブ径: 1/4"または3/8"

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用途/実績例 半導体洗浄装置

取扱企業CR4シリーズ 空圧式PFAバルブ

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日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過/精製製品:フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品:イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品:バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御/管理製品:ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護/搬送関連製品:ウェーハ/ディスクシッパー、ウェーハ/ディスクキャリア、ウェーハ/レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品:高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング(イットリア、アルミナ等)、 PECVDコーティング(シリコン、SiC、DLC等)。 表面処理材料・部材関連製品:CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品:各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。

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