純水用スプレーガン日本インテグリス

薬品洗浄が可能な高純度PFAスプレーガン

耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂性の構成部材ですので、強酸または強アルカリ性の薬品を使用する環境でも安心して使用できます。
またバクテリア防止のための過水洗浄、温水洗浄も可能です。

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基本情報純水用スプレーガン

【主な仕様】
ガン本体：　高純度PFA
構成部品：　PFA、PTFE、ETFE
接続：　1/4”または1/2”NPTメス
最高使用圧力：　552 kPa

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用途／実績例	ウェーハや配管部品などの部分的な洗浄、純水での洗い流し

ラインナップ

型番	概要
421-22-11	スプレーガン本体、1/2
421-32-11	スプレーガン本体、1/4

お問い合わせ

取扱企業純水用スプレーガン

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。