株式会社メープル 卓上型UV照射装置 MUV

卓上型UV照射装置 MUV http://www.ipros.jp/data/products/tmp/333480/006/img/muv.jpg 大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板(試料)にUV照射を行い  表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板(試料)ホルダーの上下、または取替えが容易なため  厚みのある基板(試料)を処理することが可能 ○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併用することにより  高いクリーニング効果を得られる ○基板(試料)セット後の処理は自動運転が可能です ○卓上型ながら大型基板の処理が出来、表面改質やウエ  ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適 ○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理  的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる ○有機汚染物質はガス化して排気される為  有機汚染物質の再付着が起こらない ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 株式会社メープル 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > ウエハ加工/研磨装置 MUV1000 (オゾンレス型)/MUV2000(オゾン型) -
卓上型UV照射装置 MUV 製品画像

卓上型UV照射装置 MUV 製品画像

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず
高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

【特徴】
○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板(試料)にUV照射を行い
 表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能
○基板(試料)ホルダーの上下、または取替えが容易なため
 厚みのある基板(試料)を処理することが可能
○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併用することにより
 高いクリーニング効果を得られる
○基板(試料)セット後の処理は自動運転が可能です
○卓上型ながら大型基板の処理が出来、表面改質やウエ
 ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適
○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理
 的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる
○有機汚染物質はガス化して排気される為
 有機汚染物質の再付着が起こらない

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

基本情報卓上型UV照射装置 MUV

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず
高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

【特徴】
○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板(試料)にUV照射を行い
 表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能
○基板(試料)ホルダーの上下、または取替えが容易なため
 厚みのある基板(試料)を処理することが可能
○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併用することにより
 高いクリーニング効果を得られる
○基板(試料)セット後の処理は自動運転が可能です
○卓上型ながら大型基板の処理が出来、表面改質やウエ
 ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適
○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理
 的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる
○有機汚染物質はガス化して排気される為
 有機汚染物質の再付着が起こらない

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

価格 -
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
型番・ブランド名 MUV1000 (オゾンレス型)/MUV2000(オゾン型)
用途/実績例 詳細は、お問い合わせ下さい。
よく使用される業種 電子部品・半導体、サービス業、その他

カタログ卓上型UV照射装置 MUV

卓上型UV照射装置 MUV

卓上型UV照射装置 MUV 表紙画像

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず
高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

【特徴】
○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板(試料)にUV照射を行い
 表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能
○基板(試料)ホルダーの上下、または取替えが容易なため
 厚みのある基板(試料)を処理することが可能
○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併用することにより
 高いクリーニング効果を得られる
○基板(試料)セット後の処理は自動運転が可能です
○卓上型ながら大型基板の処理が出来、表面改質やウエ
 ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適
○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理
 的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる
○有機汚染物質はガス化して排気される為
 有機汚染物質の再付着が起こらない

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

取扱企業卓上型UV照射装置 MUV

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株式会社メープル

マスフローコントローラ|ドライ洗浄装置|UV照射装置|エリプソメーター|超音波洗浄|真空装置|等の販売。

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