スピン現像装置
スピン現像装置 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/333480/007/img/or-sdm.jpg ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の 現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。 【特長】 ●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。 ●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して  ノズルの移動が任意に設定可能。 ●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。 ※詳細は【資料請求】まで 株式会社メープル 測定・分析 > 分析機器 > 分析機器・装置 -
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    株式会社メープル
    ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の
    現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。

    【特長】
    ●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。

    ●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して
     ノズルの移動が任意に設定可能。

    ●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。

    ※詳細は【資料請求】まで
  • スピン現像装置の製品画像です
    スピン現像装置の製品画像です

基本情報スピン現像装置

ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の
現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。

【特長】
●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。

●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して
 ノズルの移動が任意に設定可能。

●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。

※詳細は【資料請求】まで

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カタログスピン現像装置

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