GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のご紹介
ＧａＮ成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適
基本情報GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置
【特長】
●ＧａＮ成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適
●洗浄可能な治具は、ＳｉＣコートカーボン、石英等
●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能
●高価で時間のかかるウエット洗浄や大量の予備部品が不要
●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能
●作業者に負担のかからない安全設計
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| 納期 | お問い合わせください |
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カタログGaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置
取扱企業GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置
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