株式会社メープル GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/333480/008/img/sc0000.jpg 【特長】 ●GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適 ●洗浄可能な治具は、SiCコートカーボン、石英等 ●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能 ●高価で時間のかかるウエット洗浄や大量の予備部品が不要 ●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能 ●作業者に負担のかからない安全設計 ※詳細は【資料請求】まで 株式会社メープル 科学・理化学機器 > 洗浄機 > その他洗浄機 -
GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置 製品画像

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GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のご紹介

GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適

基本情報GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

【特長】
●GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適

●洗浄可能な治具は、SiCコートカーボン、石英等


●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能


●高価で時間のかかるウエット洗浄や大量の予備部品が不要

●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能

●作業者に負担のかからない安全設計

※詳細は【資料請求】まで

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用途/実績例 ※詳細は【資料請求】まで
よく使用される業種 化学、鉄/非鉄金属、産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、IT・情報通信、医薬品・バイオ、医療・福祉、教育・研究機関、官公庁

カタログGaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

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GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のカタログです。

メープルMDC-6550シリーズはパワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物半導体や青色LEDの製造に使用されるMO-CVD装置の治具に成膜時に堆積するGaN、AlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。
製造時の製品歩留まりの向上、ランニングコストの削減に最適な装置です。

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置 MDC8540L

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置 MDC8540L 表紙画像

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のカタログです。

メープルMDC8540Lは、パワーデバイスや、青色レーザーダイオード、青色LED等の化合物半導体製造用MOCVD装置の治具に、成膜時に堆積するGaN、AlN等をドライエッチング方式で洗浄するMDCシリーズのフラッグシップモデルです。
量産時の製品歩留まりの向上、ランニングコスト削減に最適です。

取扱企業GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

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株式会社メープル

マスフローコントローラ|ドライ洗浄装置|UV照射装置|エリプソメーター|超音波洗浄|真空装置|等の販売。

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