真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型日新技研

第三世代の超多層膜用EB制御電源

【真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型】
NEB-10WE型電源は2電子ビーム源仕様の電源です。NEB-10W型電源の制御盤を簡素化しリーズナブルにしたものになります。

〈特徴〉
・外部エミッション制御回路により、レート制御が可能！
・加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載！
・外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能！
・放電抑制装置を標準搭載！
・本体は小型コンパクト設計！

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

基本情報真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型

【仕様】
最大ビーム出力：10kW
電源：3Φ 200V ±10% 13kVA
加速電圧：-4kV～-10kV
リップル率：5％以下
エミッション電流：0～1000mA
ビームポジション：±15mm(X/Y)
ビームスキャン：±15mm(X/Y)　オプション±20mm
ビームスキャニング周波数：X=50Hz、Y=500Hz
外部制御信号：約15項目
重量：250kg

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。