汎用型 スロットルバルブ
弁体部が0-90°可変する事により
真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ
【特徴】
○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて
高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる
○フランジの種類・大きさは各種ご用意
○別途製作のご相談にも対応
○最大差圧：1気圧
○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス
○モータ：2相ステッピングモータ
○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
基本情報汎用型 スロットルバルブ
弁体部が0-90°可変する事により
真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ
【特徴】
○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて
高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる
○フランジの種類・大きさは各種ご用意
○別途製作のご相談にも対応
○最大差圧：1気圧
○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス
○モータ：2相ステッピングモータ
○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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