ビューポートシャッター SFシリーズ
蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス
有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止
【特徴】
○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等
各種超高真空装置に使用可能
○回転導入機も200℃ベーキング対応の
RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応
○ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果あり
○オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能
○簡単な組み替えで開閉方向を変更可能
○特殊サイズフランジの製作も可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報ビューポートシャッター SFシリーズ
蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス
有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止
【特徴】
○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等
各種超高真空装置に使用可能
○回転導入機も200℃ベーキング対応の
RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応
○ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果あり
○オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能
○簡単な組み替えで開閉方向を変更可能
○特殊サイズフランジの製作も可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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型番・ブランド名 | SFシリーズ |
用途/実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
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