XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機
その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ
【特徴】
○オールメタルシールによりベーキング可能
○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等
各種超真空装置に使用可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応
○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能
クロスローラベアリングによる精密移動
○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と
組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機
その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ
【特徴】
○オールメタルシールによりベーキング可能
○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等
各種超真空装置に使用可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応
○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能
クロスローラベアリングによる精密移動
○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と
組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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型番・ブランド名 | XYZシリーズ |
用途/実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
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