アリオス株式会社 XYZステージ XYZシリーズ

XYZステージ XYZシリーズ

3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機
その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ

【特徴】
○オールメタルシールによりベーキング可能
○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等
 各種超真空装置に使用可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応
○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能
 クロスローラベアリングによる精密移動
○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と
 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

基本情報XYZステージ XYZシリーズ

3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機
その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ

【特徴】
○オールメタルシールによりベーキング可能
○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等
 各種超真空装置に使用可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応
○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能
 クロスローラベアリングによる精密移動
○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と
 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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型番・ブランド名 XYZシリーズ
用途/実績例 詳細は、お問い合わせ下さい。

カタログXYZステージ XYZシリーズ

取扱企業XYZステージ XYZシリーズ

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アリオス株式会社

真空計、分子線セル、プラズマ・ラジカル・イオン源 実験用装置、半導体製造装置の設計・製造・販売

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