マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です
プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する
アリオス社だからこそできる、柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。
【特徴】
○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射
その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等
多種に渡り製作が可能
○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため
様々なプロセスに対応可能
○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため
ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要
○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター
さらに超高真空まで対応可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です
プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する
アリオス社だからこそできる、柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。
【特徴】
○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射
その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等
多種に渡り製作が可能
○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため
様々なプロセスに対応可能
○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため
ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要
○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター
さらに超高真空まで対応可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | ~ 1週間 |
| 型番・ブランド名 | MiPC-500 |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
カタログマイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
取扱企業マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
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