単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置　DCVD-51A アリオス

コンパクトで省電力！デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用プラズマCVD装置

ダイヤモンドの単結晶成長(ホモエピタキシャル)が可能な
高純度のダイヤモンド合成実験を行うためのプラズマCVD装置

【特徴】
○コンパクトで省電力
○超高真空技術を駆使しており、プラズマが室壁に接触しないため
　デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験が可能
○球状コンパクトチャンバー＋特殊電極により、高効率な運転が可能
○放電状態を見ながらの実験が可能
○試料導入はロードロック方式への発展が可能
○完全なシールド構造により、マイクロ波の漏れ対策は万全
○全て空冷仕様により、電力とガス供給のみでの運転が可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

基本情報単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置　DCVD-51A

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型番・ブランド名	DCVD-51A
用途／実績例	詳細は、お問い合わせ下さい。