一般財団法人材料科学技術振興財団 MST [SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)

[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM) http://www.ipros.jp/public/product/image/c19/387108026/IPROS3784980461565155978.jpg EDXは電子線照射により発生する特性X線をエネルギーで分光し、検出します。特定X線のエネルギーは元素固有なので、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 測定・分析 > 受託サービス > 受託解析 -
電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です

EDXは、電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS:Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。
多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではSEM付属のEDXについて解説します。

・測定範囲の全エネルギー(B~U)が同時に短時間で測定可能
・検出効率に優れているので、少ないプローブ電流で測定が可能
・特殊な試料を除き、前処理不要で手軽に分析を行える
・未知試料の分析に適している
・クライオホルダーを用いることで凍結・冷却した状態で測定可能

基本情報[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)

EDXは電子線照射により発生する特性X線をエネルギーで分光し、検出します。特定X線のエネルギーは元素固有なので、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。

価格 -
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用途/実績例 ・異物の組成分析
・面分析による元素分布の可視化
・面分析によるマイグレーションの可視化
・定性分析から更に半定量分析
・層構造の同定
・異常層、残渣の成分特定

詳細情報[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)

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カタログ[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)

取扱企業[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)

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