株式会社テクノビジョン フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200

スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナー

スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行

テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。

弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TWE-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています。

基本情報フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200

■主な特長
・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う
・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う
・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない
・少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適
・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意
・ワーク接触部分は、樹脂にて対応

※各種オプションも用意。
※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 TWE-200
用途/実績例 ■主な用途
フォトマスク:
半導体用、液晶用、有機EL用、カラーフィルター用、
薄膜デバイス用、ICパッケージ用、PWB用、PCB用、FPC用
その他、板状基板等洗浄可

■各オプション
・界面活性剤供給ユニット
・HEPA/ULPAユニット
・イオナイザー、
・ホットエアーナイフ
・純水加熱ユニット

ラインナップ

型番 概要
モデル TWE-200 マスクサイズ:300mm×300mmまで/ 装置寸法:980mm(幅)×720mm(奥行)×1,760mm(高さ)/ 重量:250Kg
モデル TW-300 マスクサイズ:360mm×460mmまで / 装置寸法:1,070mm(幅)×700mm(奥行)×1,815mm(高さ)/ 作業高さ:1,200mm / 重量:280Kg
モデル TW-700 マスクサイズ:620mm×720mmまで / 装置寸法:1,810mm(幅)×880mm(奥行)×1,590mm(高さ)/ 作業高さ:1,240mm / 重量:580Kg
モデル TW-1000 マスクサイズ:1,300mm×1,700mmまで / 装置寸法:17,200mm(幅)×1,200mm(奥行)×2,700mm(高さ)

カタログフォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200

取扱企業フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200

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株式会社テクノビジョン 本社

■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■FPD製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。 【洗浄装置関連】 ・カセット・キャリア洗浄装置 ・フォトマスク洗浄装置 ・全自動マスク洗浄装置/マスク洗浄機 ・簡易洗浄ユニット ・紫外線オゾン洗浄装置 ・超純水用・エアー用加熱装置 【スーパークリーンヒーター】 ・超純水用加熱ヒーター ・クリーン加熱ヒーター ・簡易タイプ温度コントローラー 【後工程組立関連】 ・テープマウンター/ウェハーマウンター(ウエハーマウンター) ・ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置 ・UVフィルム硬化装置/紫外線フィルム硬化装置 ・グリップリング/ウェハー収納ケース ※日本全国および海外(台湾、中国、欧米)にも対応。 詳細は、お気軽にお問合せ下さい。

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