平田機工株式会社 ウェーハ搬送システム EFEM

ウェーハ搬送システム EFEM http://www.ipros.jp/data/products/tmp/392867/001/img/EFEM.jpg 【特徴】 ○クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現 ○ロボット、FOUPオープナ、アライナは全て自社製品を搭載、各装置の要求に応じて、フレキシブルなレイアウトが可能であり、搬送システムをトータルサポート ○ 業界トップクラスの高スループットを誇る搬送ロボットと独自の制御方式を採用することで、640枚/h搬送を実現 ○1515st以上のロングストロークにも対応可能 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。 平田機工株式会社 製造・加工機械 > 産業用ロボット > その他産業用ロボット -
ウェーハ搬送システム EFEM 製品画像

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業界で評価されたロードポート、ロボット。

高速搬送と高クリーンを実現するウェーハ受け渡し装置。

基本情報ウェーハ搬送システム EFEM

【特徴】
○クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現
○ロボット、FOUPオープナ、アライナは全て自社製品を搭載、各装置の要求に応じて、フレキシブルなレイアウトが可能であり、搬送システムをトータルサポート
○ 業界トップクラスの高スループットを誇る搬送ロボットと独自の制御方式を採用することで、640枚/h搬送を実現
○1515st以上のロングストロークにも対応可能

●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。

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発売日 取扱い中
用途/実績例 ウェーハ搬送システム
よく使用される業種 電子部品・半導体、ソフトウェア、教育・研究機関、その他

カタログウェーハ搬送システム EFEM

半導体関連装置 総合カタログ

半導体関連装置 総合カタログ 表紙画像

EFEM、ソーター、ウェーハ搬送ロボット、FOUPオープナー、SMIF、アライナなどの総合カタログです。

取扱企業ウェーハ搬送システム EFEM

平田機工株式会社

各種生産システム、産業用ロボットおよび物流関連機器等の製造ならびに販売

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