平田機工株式会社 ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル)

ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル) http://www.ipros.jp/data/products/tmp/392867/011/img/kwy5.jpg 【特徴】 ○ マニュアル開閉タイプ  オペレータにより容器の開閉をサポート ○ 高クリーン性能  機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減 ○ 気流制御でパーティクルの巻き込み防止  容器開閉動作の制御による乱流・巻き込み防止 ○ レチクルポッド対応  RSP-200規格容器の開閉可能(オプション) ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。 平田機工株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置 -
ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル)の製品画像です

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高クリーン、高スループット、高メンテナンス性を実現

半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。

基本情報ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル)

【特徴】

○ マニュアル開閉タイプ
 オペレータにより容器の開閉をサポート
○ 高クリーン性能
 機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減
○ 気流制御でパーティクルの巻き込み防止
 容器開閉動作の制御による乱流・巻き込み防止
○ レチクルポッド対応
 RSP-200規格容器の開閉可能(オプション)

●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

価格 -
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発売日 取扱い中
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よく使用される業種 産業用機械、電子部品・半導体、試験・分析・測定

カタログロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル)

半導体関連装置 総合カタログ

EFEM、ソーター、ウェーハ搬送ロボット、FOUPオープナー、SMIF、アライナなどの総合カタログです。

取扱企業ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル)

平田機工株式会社

各種生産システム、産業用ロボットおよび物流関連機器等の製造ならびに販売

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