精密部品　ピンチャック技研精機

ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物（シリコンウェハ等）を固定するために用いられます。

ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物（シリコンウェハ等）を固定するために用いられます。
本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01～0.03mmと、非常に高い精度が求められています。

基本情報精密部品　ピンチャック

【特徴】
〇ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物（シリコンウェハ等）を固定するために用いられます。
〇本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01～0.03mmと、非常に高い精度が求められています。
〇歪みがなく、尚且つ効率的に加工ができる
〇特に面積が大きい為、平面度を出す加工技術以外に、加工時・測定時の温度管理及び測定機器の精度が要求されます。

●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】〇二輪・四輪自動車の開発部品及びレース部品〇半導体製造装置・液晶製造装置部品〇航空機ジェットエンジンの開発部品〇ロボット機構開発部品〇医療機器部品〇精密測定機器部品〇試作削り出し品〇真空ポンプ部品〇掘削機部品 ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。