ヒーハイスト株式会社 XYθステージ NAF3シリーズ
- 最終更新日:2010-10-01 00:00:00.0
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電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。
基本情報XYθステージ NAF3シリーズ
【特徴】
○3つのアクチュエータを同一平面上に配置することにより超薄型シンプル構造を実現。
○「予圧型ダブルスライド」が荷重を受け、アクチュエータは直接荷重を受けません。これにより荷重変化に影響されない安定した精度が得られます。
○テーブル中心はもとより、任意の座標点を中心にテーブルを旋回させることができます。
○別売のアライメントステージ専用コントローラにより、複雑な計算や、煩わしいソフト開発が不要になりました。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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