テルモセラ・ジャパン株式会社 ◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃
- 最終更新日：2023/01/17
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Max2900℃(C/Cコンポジット：C熱電対+2色放射温度計）
Max1600℃（SiC3コーティングヒーター）
Max2900℃（TiC3コーティングヒーター）
・有効加熱エリアΦ100
新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応。
基本情報◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃
小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。
◆モデル◆
・MiniLab-CF
◆最高温度◆
Max2900℃(C/Cコンポジット：C熱電対+2色放射温度計）
Max1600℃（SiC3コーティングヒーター）
Max2900℃（TiC3コーティングヒーター）
◆主な特徴◆
・セミオートPLCシーケンス操作。煩雑な操作を必要とせずボタン操作のみで真空引き〜ベント〜ガス導入を実行
・加熱試料室サイズ：標準Φ100
・省スペース
・ドライスクロールポンプ付属
・インターロック（チャンバー温度異常、冷却水異常、過昇温）
◆基本仕様◆
・電源仕様：AC200V 50/60HZ 8KVA
・プログラム温度調節計、C熱電対、2色放射温度計（2900℃用）
◆オプション◆
・APCコントロール（オプション）：
-1) Upstreamコントロール：MFC供給量をPIDループ自動制御、又は
-2) Downstreamコントロール：排気側開度自動調整
・回転機構
・SECS/GEM通信
| 価格情報 |
- 詳細当社までお問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※詳細当社までお問い合わせ下さい。 |
| 型番・ブランド名 | MiniLab-CF |
| 用途／実績例 | ◆主な応用アプリケーション◆ ・新素材開発 ・材料分析 ・その他各種先端材料開発に応用 |
詳細情報◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃
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チャンバー
● 水冷構造チャンバー
・左右チャンバー、ベースフランジ、トップフランジ、開閉蓋の5重水冷構造
● チャンバー過昇温検知
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高純度グラファイトヒーター
円筒状高純度グラファイトヒーターを採用
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プロセス&ガスコントロール
PLC自動制御 プロセス（真空引き、ベント）・ガスIn&Out制御は4つのボタン操作のみで行います。
プロセス進行状況は各ボタンの点灯・点滅にて容易に判断できます。
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チャンバー内部
使用材質
・高純度グラファイト（ヒーター、専用るつぼ）
・C/Cコンポジット（断熱材、試料ステージ）
・カーボンフェルと材（断熱材）
カタログ◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃
取扱企業◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃
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【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置
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