テルモセラ・ジャパン株式会社 ◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃

3種類のヒーター材料でさまざまな使用環境に対応する超高温マルチ雰囲気実験炉。

Max2900℃(C/Cコンポジット:C熱電対+2色放射温度計)
Max1600℃(SiC3コーティングヒーター)
Max2900℃(TiC3コーティングヒーター)
・有効加熱エリアΦ100
新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応。

基本情報◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃

小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。

◆モデル◆
・MiniLab-CF
◆最高温度◆
Max2900℃(C/Cコンポジット:C熱電対+2色放射温度計)
Max1600℃(SiC3コーティングヒーター)
Max2900℃(TiC3コーティングヒーター)

◆主な特徴◆
・セミオートPLCシーケンス操作。煩雑な操作を必要とせずボタン操作のみで真空引き〜ベント〜ガス導入を実行
・加熱試料室サイズ:標準Φ100
・省スペース
・ドライスクロールポンプ付属
・インターロック(チャンバー温度異常、冷却水異常、過昇温)
◆基本仕様◆
・電源仕様:AC200V 50/60HZ 8KVA
・プログラム温度調節計、C熱電対、2色放射温度計(2900℃用)
◆オプション◆
・APCコントロール(オプション):
-1) Upstreamコントロール:MFC供給量をPIDループ自動制御、又は
-2) Downstreamコントロール:排気側開度自動調整
・回転機構
・SECS/GEM通信

価格情報 -
詳細当社までお問い合わせ下さい。
納期 お問い合わせください
※詳細当社までお問い合わせ下さい。
型番・ブランド名 MiniLab-CF
用途/実績例 ◆主な応用アプリケーション◆
・新素材開発
・材料分析
・その他各種先端材料開発に応用

詳細情報◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃

チャンバー
● 水冷構造チャンバー
・左右チャンバー、ベースフランジ、トップフランジ、開閉蓋の5重水冷構造
● チャンバー過昇温検知

高純度グラファイトヒーター
円筒状高純度グラファイトヒーターを採用

プロセス&ガスコントロール
PLC自動制御 プロセス(真空引き、ベント)・ガスIn&Out制御は4つのボタン操作のみで行います。
プロセス進行状況は各ボタンの点灯・点滅にて容易に判断できます。

チャンバー内部
使用材質
・高純度グラファイト(ヒーター、専用るつぼ)
・C/Cコンポジット(断熱材、試料ステージ)
・カーボンフェルと材(断熱材)

カタログ◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃

取扱企業◉MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃

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テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置

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