神港精機株式会社 プラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー)

プラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー) http://www.ipros.jp/public/product/image/c3e/43427005/IPROS52440203141557391069.jpeg 【特徴】 ●はんだバンプリフロー時、高還元性の水素ラジカルを照射、はんだ表面酸化物を除去、フラックスレスで微細バンプのリフローを実現。 ●はんだバンプ溶融を真空中で行うため、バンプのボイドを除去。 ●急冷機構付きヒーターステージにより、枚葉式高速リフローを実現。 ●小型バッチタイプから12インチウェハに対応のカセットtoカセットの本格量産用装置までラインナップ。試作・小型基板から 神港精機株式会社 製造・加工機械 > 実装機械 > リフロー装置 -
フラックスレスウェハバンプリフロー、300mmウェハ量産用 試作対応 リフロー動画掲載

高密度水素プラズマラジカルが、はんだ表面の酸化層を除去、フラックスレスリフローを実現。
真空中でのリフローのためボイドフリーも実現。
フラックス塗布洗浄工程を削減、ドライ化による工程削減効果大
メッキ、ボール搭載、ペーストの各種はんだボールのフラックスレスリフローに対応
低コスト化、短タクト化、CtoC化によるラインのシンプル化、自動化を実現

関連動画プラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー)

基本情報プラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー)

【特徴】
●はんだバンプリフロー時、高還元性の水素ラジカルを照射、はんだ表面酸化物を除去、フラックスレスで微細バンプのリフローを実現。
●はんだバンプ溶融を真空中で行うため、バンプのボイドを除去。
●急冷機構付きヒーターステージにより、枚葉式高速リフローを実現。
●小型バッチタイプから12インチウェハに対応のカセットtoカセットの本格量産用装置までラインナップ。試作・小型基板から

価格 -
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ファインピッチバンプのフラックスレスリフローを
求められているユーザー様に実績有り。
独自開発プロセスにより、印刷法・めっき法・ボール法にも対応可能です。

ラインナップ

型番 概要
バッチタイププラズマリフロー装置 300mmウェハ対応のバッチタイプ 最先端プロセスをニッチデバイスや小径ウェハに展開 R&Dおよび少量生産用
CtoCタイププラズマリフロー装置 枚葉式CtoCタイプの本格量産用装置。微細バンプの量産リフロープロセスをフラックスレスで実現

カタログプラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー)

取扱企業プラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー)

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神港精機株式会社

真空ポンプ・薄膜形成装置・・投影機・プラズマ装置・精密電気炉の製造、販売を行っております。

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