洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインジェット』プレテック

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能（400/1500/3000ｋHz）で、多彩なノズルバリエーション（耐薬品/メタルコンタミネーションフリー）があります。検出機能を強化し、振動子劣化を検出可能です。また、通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。海外の電圧に標準で対応し、各種規格（FCC/CE/RoHS）にも対応しております。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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基本情報洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインジェット』

【特徴】
○ノズル先端より高周波をのせた液体(超純水、薬液)を噴射し洗浄
→用途に合わせてオゾン水、フッ酸等の薬液の使用が可能
○高圧水JETと異なり、供給される液体は一般の水道圧(1〜1.5Kg/cm2)でOK
○枚葉送り、スピン洗浄機に簡単に取り付け可能
○低出力から高出力までの安定した発振
○枚葉洗浄の幅広いニーズに対応
○微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整が可能
○多彩な周波数を選択可能：400/1500/3000ｋHz
○多彩なノズルバリエーション：耐薬品/メタルコンタミネーションフリー
○検出機能強化：振動子劣化を検出可能（PT-010J50)
○通信機能も強化：発振器状態の監視、外部設定が可能（PT-010J50)
○海外の電圧に標準で対応（PT-010J50)
○各種規格対応：FCC/CE/RoHS

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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型番・ブランド名	ファインシリーズ,ファインジェット
用途／実績例	【用途】 ○シリコンウェハー、GaAs、各種フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク、　薄膜磁気ヘッド等の洗浄、ウエハーのCMP後の洗浄 ○脆性材料(フェラント、セラミック等)シリコンウェハー等のスライシング、　べべリング、切削加工等の加工時の目つまり除去と加工促進 ○液晶除去 ○各種ウエハー基板洗浄（シリコン、ポリシリコン、化合物半導体、石英ガラス） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。