洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』プレテック

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。

ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、ノズル噴射の洗浄方式で、洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がありません。微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。各種規格（FCC/CE/RoHS）にも対応しております。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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基本情報洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』

【特徴】
○小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツール
○大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプ
○洗浄幅は160ｍｍから2210mmまでセレクト可能
○液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適
○バー型、ノズル噴射の洗浄方式
○洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がない
○きめ細かなサイズバリエーション
○微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能
○最大出力アップ：洗浄エリアの拡大及びコストダウン
○通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能
○各種規格（FCC/CE/RoHS）にも対応

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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型番・ブランド名	ファインスコール
用途／実績例	【用途】 ○液晶、TFT（成膜前後）、CF、アレイ等 ○半導体デバイスに於ける拡散前、イオン注入後の洗浄 ○SIウェハー、GaAs等のミラー後の洗浄 ○各種フォトマスクの成膜前レチクル洗浄 ○磁気ディスクの成膜前およびファイナル洗浄 ○FPD用基板洗浄 ○各種ウエハー洗浄 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。