洗浄装置・プラズマ洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・アッシング装置・エッチング装置
洗浄装置・プラズマ洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・アッシング装置・エッチング装置 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/045614/014/img/045614014.image_data.gif PXA-100は、実装プロセスでの信頼性改善に最適なマガジンtoマガジン式の自動量産型プラズマ洗浄装置です。本装置は、プラズマドライ洗浄全般に応用が可能です。特にBGAなど実装プロセスでの信頼性改善を目的とした応用では、封止性改善、ブリードアウト防止・除去などに優れた効果を発揮します。 サムコ株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > エッチング装置 PXA-100 -
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    サムコ株式会社
    ● 12〜30sec/枚の高スループットを実現。

    ● マガジンスタッカー装備により連続運転が可能。

    ● 基板全般に対応可能。

    ● 基板およびマガジンのサイズ変更が容易。

    ● タッチパネルにより操作が容易。

    ● プラズマドライ洗浄全般に応用が可能。
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基本情報洗浄装置・プラズマ洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・アッシング装置・エッチング装置

PXA-100は、実装プロセスでの信頼性改善に最適なマガジンtoマガジン式の自動量産型プラズマ洗浄装置です。本装置は、プラズマドライ洗浄全般に応用が可能です。特にBGAなど実装プロセスでの信頼性改善を目的とした応用では、封止性改善、ブリードアウト防止・除去などに優れた効果を発揮します。

価格

-

価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

PXA-100

用途/実績例

● 封止性改善

● ブリードアウト防止・除去

● 濡れ性・接着性改善

よく使用される業種

産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定、IT・情報通信

取扱会社洗浄装置・プラズマ洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・アッシング装置・エッチング装置

半導体等電子部品の製造・販売を行っております。 最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。 化合物半導体に特化して30年以上研究開発を行ってきました。近年注目を集めるLED用のGaNやパワーデバイス用のSiCなどの加工を得意としております。 LEDでは一貫製造プロセスを提供できる”One Stop Solution”を提唱しており、国内のみならず、台湾・中国へも多数の納入実績を誇ります。 パワーデバイス分野では、SiCの高速エッチング装置や、GaN/AlGaNの高選択比エッチングなどの技術を有し、今後の市場拡大に対応しております。

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