減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206
液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。
【特長】
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する
と同時に高効率で気化可能
○ピエゾバルブ採用
○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
○最高160℃の加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○RoHS対応
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する
と同時に高効率で気化可能
○ピエゾバルブ採用
○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
○最高160℃の加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○RoHS対応
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | VU-206 |
| 用途／実績例 | 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 SiO2やTiO2、H2Oその他、各種成膜用途に減圧常圧問わず、幅広く使用されております。 |
カタログ減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
取扱企業減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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