プラズマドライクリーナー　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置ヤマトマテリアル

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

・卓上型、低コスト、高性能タイプ
・実験用から本格量産まで使用可能
・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション）
・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載
・標準油回転ポンプ付
標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。

関連リンク - https://www.yamato-material.co.jp/electronics/plas…

基本情報プラズマドライクリーナー　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体　電子デバイス製造工程のアッシング、エッチングをはじめ、レンズ、医療処置具、チューブ、粉体洗浄、表面改質による印刷やコーティング材の密着(親水)性の改善により
生産性や品質を大幅に向上させることを目的とした装置です。

価格情報	-
納期	~ 1ヶ月
型番・ブランド名	PDC200/210
用途／実績例	・サブストレート基板、リードフレームの表面洗浄・サブストレート基板と封止樹脂との密着性向上・アンダーフィル材の濡れ性改善・フォトレジストのアッシング・金属酸化物のエッチング・接着効果の改善・樹脂／フィルムの表面改質・濡れ性の改善

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取扱企業プラズマドライクリーナー　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ヤマトマテリアル株式会社

プラズマ洗浄装置（プラズマクリーナー）、プラズマ自動機、プラズマエッチング装置（エッチャー）、プラズマアッシング装置（アッシャー）、バーンイン用ICソケット・半導体測定用、検査用ソケット・バーンインボード、LSI測定治具、マイクロスコープ、歪検出方式気密防水試験器、光通信デバイス組立装置、各種組立設備の設計製作、工程内・出荷用トレイ（インジェクショントレイ・真空成型トレイ）、リテーナリング、非球面ガラスレンズなどの製造及び販売。