大気圧プラズマ装置ヤマトマテリアル

大気圧プラズマ装置

従来の減圧プラズマに加え、大気圧（常圧）プラズマを産学協同開発。熱非平衡の大気圧グロー放電プラズマのため、低温処理が可能です。

基本情報大気圧プラズマ装置

プラズマ中の高エネルギー電子やラジカル・イオンの高活性を利用して、電子材料をはじめ多方面にわたる応用が可能です。

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型番・ブランド名	AP500
用途／実績例	・高分子材料の表面処理・ＦＰＤ関連のガラス洗浄・アッシング処理・表面洗浄処理（酸化または還元処理）

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取扱企業大気圧プラズマ装置

ヤマトマテリアル株式会社

プラズマ洗浄装置（プラズマクリーナー）、プラズマ自動機、プラズマエッチング装置（エッチャー）、プラズマアッシング装置（アッシャー）、バーンイン用ICソケット・半導体測定用、検査用ソケット・バーンインボード、LSI測定治具、マイクロスコープ、歪検出方式気密防水試験器、光通信デバイス組立装置、各種組立設備の設計製作、工程内・出荷用トレイ（インジェクショントレイ・真空成型トレイ）、リテーナリング、非球面ガラスレンズなどの製造及び販売。