電子部品の焼成に最適。耐薬品性と均熱範囲を確保した画期的な加熱装置
真空中にもかかわらず、均熱に加熱する事ができます。
基本情報真空クリーンオーブン
特殊ヒーターを用いる事によって、ヒーターからの出ガスが無くなり、クリーンな環境での加熱が可能です。
優れた温度管理能力を持ち、品温で450℃時に±2℃を実現。
また、ヒーター線を保護しておりますので、内部試料より発生したガスに腐食されにくい構造になっております。
| 価格情報 | - |
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| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 用途／実績例 | Ｓｉ基盤の表面改質や基板表面に付着した有機物などの不純物を除去する為に多く利用されております。 |
取扱企業真空クリーンオーブン
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各種グローブボックス、ガス循環精製装置、有機ＥＬ封止装置、有機ＥＬ試作検査装置、電気炉付きグローブボックス、高真空電気炉装置、クリーンオーブン、高周波誘導加熱装置、真空デシケーター、ラミネート装置、電池安全試験装置、動植物暴露試験装置、各種試験装置、特殊チャンバー等
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