THK株式会社 中低真空用LMガイド

大気圧〜真空の環境下で安定した転がり抵抗を実現

新開発の中低真空専用ラビリンスエンドシールや中低真空用グリースの採用により、安定した転がり抵抗を実現しています。

基本情報中低真空用LMガイド

● 大気圧〜真空の幅広い環境で使用可能。

● ベーキング温度、最高200℃※まで対応可能。

● 新開発の中低真空専用ラビリンスエンドシールは、グリース保持性を向上させ、長期真空中の使用が可能。

● 新開発の中低真空用グリースの採用により、安定した転がり抵抗を実現。

※ベーキング温度が100℃を超える場合は、基本定格荷重に温度係数を乗じてください。

価格情報 -
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型番・ブランド名 HSR15M1R-VV
用途/実績例 各種半導体製造装置・検査装置

取扱企業中低真空用LMガイド

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THK株式会社

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