油を使えない真空環境下での仕様に最適
油を使えない高真空環境下での仕様に最適な特殊環境用オイルフリーLMガイド。転動体に新開発の固定潤滑S膜を使用。またグリースは一切使用せず、構成部品はオールステンレス材を採用しているため、低アウトガス・低発塵を実現しています。
基本情報特殊環境用 オイルフリーLMガイド
● ステンレス材を使用
特殊環境用に構成部品は、すべてステンレス材で構成してあります。
● 脱脂洗浄
洗浄剤で脱脂処理を施してあります。
● グリース不使用
グリースは一切使用せず、信頼性の高い固体潤滑S膜を採用しています。
● 低摩擦
特殊環境用オイルフリーＬＭガイドは、大気圧から真空環境下において優れた低摩擦性を発揮します。
● 低発塵
特殊環境用オイルフリーＬＭガイドは、従来の真空用グリース潤滑に比べ優れた低発塵性を発揮します。
● 長寿命
特殊環境用オイルフリーＬＭガイドは、従来の固体潤滑と比べ長寿命です。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SR15MSV/W、SR20MSV/W |
| 用途／実績例 | 半導体・FPD製造装置・露光機・有機EL製造装置・イオン注入装置 |
取扱企業特殊環境用 オイルフリーLMガイド
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