高速大面積全面膜厚測定装置 FTMシリーズ
高速大面積全面膜厚測定装置 FTMシリーズ http://www.ipros.jp/data/products/tmp/061749/002/img/テクノス.jpg 非接触の光学式の全面膜厚測定装置です。 従来の光学式の膜厚検査装置はある一点の膜厚を測定することを目的としており、大面積の測定物の膜厚分布やムラを検査することは、現実的ではありませんでした。 そのため、近年著しく大型化の進んでいるLCDパネルなどの成膜を伴う生産現場では、目視に頼った検査を行っているのが現状です。 本装置は、大面積の膜厚ムラ検査を高速に行うことを目的に開発されました。 【特長】 測定物全面の膜厚分布を一回のスキャンで測定します。大面積の膜厚分布測定を高速に行います。 ※測定対象物のサイズによって仕様が異なります。詳細についてはお問い合わせください。 テクノス株式会社 測定・分析 > 電子計測器 > 光学測定器 FTMシリーズ -
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基本情報高速大面積全面膜厚測定装置 FTMシリーズ

非接触の光学式の全面膜厚測定装置です。

従来の光学式の膜厚検査装置はある一点の膜厚を測定することを目的としており、大面積の測定物の膜厚分布やムラを検査することは、現実的ではありませんでした。

そのため、近年著しく大型化の進んでいるLCDパネルなどの成膜を伴う生産現場では、目視に頼った検査を行っているのが現状です。
本装置は、大面積の膜厚ムラ検査を高速に行うことを目的に開発されました。

【特長】
測定物全面の膜厚分布を一回のスキャンで測定します。大面積の膜厚分布測定を高速に行います。

※測定対象物のサイズによって仕様が異なります。詳細についてはお問い合わせください。

価格

-
※仕様によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期


※数量、仕様によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

FTMシリーズ

用途/実績例

■Siウェハ上のSiO2膜の測定
■ガラス基板上のレジスト、フォトスペーサの膜厚分布測定
■ガラス基板上のカラーフィルターのRGB各着色感材塗布後の塗布膜厚分布測定

よく使用される業種

化学、樹脂・プラスチック、鉄/非鉄金属、産業用機械、産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、ソフトウェア、医薬品・バイオ、建築・土木・エンジニアリング、製造・加工受託、その他製造

カタログ高速大面積全面膜厚測定装置 FTMシリーズ

  • イメージ分光方式を用い、全面の膜厚分布を超高速・高精度に測定します。 ●全面の膜厚分布を高速に測定 ●大面積やロールtoロールにもリアルタイムに対応 ●膜厚分布状態の解析や膜厚のムラ検査が可能

    ◎詳細は、カタログをご覧いただくか直接お問い合わせください。

取扱会社高速大面積全面膜厚測定装置 FTMシリーズ

画像処理技術のエキスパートとして、★膜厚測定装置、★光学特性評価装置、★FPDの評価・検査システム開発・製作、★信号発生器の開や・製造、★FPD周辺回路の設計や製作、★パソコン・マイコン用各種ソフトウェアの受託開発も行っています。

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