パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ
パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ http://www.ipros.jp/data/products/tmp/007431/015/img/parusu.jpg SPIKはパルスのオン/オフ時間を個別に広い範囲で設定できます。単極パルスまたは双極パルスの選択と併せ、パルスのオン/オフ時間を適正化する事で、アークの発生を予防し、より大きな電力で安定した運転が可能になり、成膜レートと品質を向上します。 SPIKは大容量のコンデンサを内蔵しており、DC電源の出力電流の最大約10倍に達する大きなピークパルス電流を、プラズマ負荷に供給する能力があります。この増大された電流がプラズマを高密度化し、成膜レートを加速します。 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 アステック株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > スパッタリング装置 パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ -
  • 通常のDC電源がパルス電源へ機能アップ、DC出力をパルス出力に変換します。
    アステック株式会社
    特許申請済の最新パルステクノロジーを駆使したパルスDCパワーコントローラです。

    【特長】
    ○最高繰り返し周波数50KHz
    ○高密度プラズマの実現
    ○オンタイム、オフタイムを個別に設定可能
    ○2μs以下のクイックアーク検出とサプレッション
    ○通常のDC電源をパルス電源へとアップグレード
    →2台のDC電源を使った高電力非対称バイポーラパルス出力
    →1台のDC電源を使った高電力対称バイポーラ/ユニポーラパルス出力
    ○出力動作モード:正電圧DC、負電圧DC、正電圧単極パルス、
     負電圧単極パルス、対称双極パルス、非対称双極パルス

    ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ

SPIKはパルスのオン/オフ時間を個別に広い範囲で設定できます。単極パルスまたは双極パルスの選択と併せ、パルスのオン/オフ時間を適正化する事で、アークの発生を予防し、より大きな電力で安定した運転が可能になり、成膜レートと品質を向上します。

SPIKは大容量のコンデンサを内蔵しており、DC電源の出力電流の最大約10倍に達する大きなピークパルス電流を、プラズマ負荷に供給する能力があります。この増大された電流がプラズマを高密度化し、成膜レートを加速します。

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

価格

-

価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ

用途/実績例

【用途】
○デュアルまたはシングル・マグネトロンスパッタリング
○プラズマCVD
○PVDバイアス
○プラズマナイトライディング
○プラズマディスミア
○表面クリーニングとアクチベーション
○エッチングバイアス

よく使用される業種

産業用機械、機械要素・部品、産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定、製造・加工受託、その他

カタログパルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ

  • SPIKはパルスのオン/オフ時間を個別に広い範囲で設定できます。単極パルスまたは双極パルスの選択と併せ、パルスのオン/オフ時間を適正化する事で、アークの発生を予防し、より大きな電力で安定した運転が可能になり、成膜レートと品質を向上します。

    SPIKは大容量のコンデンサを内蔵しており、DC電源の出力電流の最大約10倍に達する大きなピークパルス電流を、プラズマ負荷に供給する能力があります。この増大された電流がプラズマを高密度化し、成膜レートを加速します。

    【特長】
    ○最高繰り返し周波数50KHz
    ○高密度プラズマの実現
    ○オンタイム、オフタイムを個別に設定可能
    ○2μs以下のクイックアーク検出とサプレッション
    ○通常のDC電源をパルス電源へとアップグレード
    →2台のDC電源を使った高電力非対称バイポーラパルス出力
    →1台のDC電源を使った高電力対称バイポーラ/ユニポーラパルス出力
    ○出力動作モード:正電圧DC、負電圧DC、正電圧単極パルス、
     負電圧単極パルス、対称双極パルス、非対称双極パルス
    [PDF:2MB]

取扱会社パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ

アステック株式会社

【東京本社】 応用科学事業部 TEL:03-3366-0811 科学計測事業部 TEL:03-3366-0818 電子応用事業部 TEL:03-3366-0813 半 導 体事業部 TEL:03-3367-8921 【大阪営業所】TEL06-6375-5852

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