超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステム
超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステム http://www.ipros.jp/data/products/tmp/008948/003/img/ステージ集合2caption コピー2.JPG 【特長】 ●超音波モータを駆動源として繰り返し位置決め精度10nmを実現。 ●ステージサイズは□60、80、120で各々真空非磁性対応モデルもラインアップ。 ●超音波モータの特性をいかし、停止時は保持トルクを有し、  非通電で振動・発熱がなく、また発塵もありません。 ●大きな保持力がありますのでZ方向にもご使用できます。 ●また、電子顕微鏡の標準試料室サイズφ200、φ300に各々対応した  位置決め分解能100nm、X-Yステージシステム、ロングストロークタイプなどの  応用製品もご用意しています。 詳しくは、お問い合わせからお願いいたします。 キヤノンプレシジョン株式会社 東京営業所 制御・電機機器 > FA機器 > その他FA機器 US120,US80,US60,US23 -
  • 位置決め精度10nm!超音波モーター駆動ステージシステム。
    キヤノンプレシジョン株式会社
    超音波モータと精密ボールねじをリジッド・カップリングで固定。テーブル直下のリニアエンコーダ信号をフィードバックし、クローズドループ制御で高精度位置決めを行います。
  • 超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステムの製品画像です
    超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステムの製品画像です

基本情報超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステム

【特長】
●超音波モータを駆動源として繰り返し位置決め精度10nmを実現。

●ステージサイズは□60、80、120で各々真空非磁性対応モデルもラインアップ。

●超音波モータの特性をいかし、停止時は保持トルクを有し、
 非通電で振動・発熱がなく、また発塵もありません。

●大きな保持力がありますのでZ方向にもご使用できます。

●また、電子顕微鏡の標準試料室サイズφ200、φ300に各々対応した
 位置決め分解能100nm、X-Yステージシステム、ロングストロークタイプなどの
 応用製品もご用意しています。

詳しくは、お問い合わせからお願いいたします。

価格

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価格帯

納期


※3ヶ月

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

US120,US80,US60,US23

用途/実績例

光ディスク製造装置
電子顕微鏡関連装置
電子線描画装置
レーザ描画装置
原子間力顕微鏡
ナノインプリント装置
光学干渉計

よく使用される業種

産業用機械、電子部品・半導体、教育・研究機関

取扱会社超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステム

・モーションコントロール(精密マイクロモータ・超音波モータ  及び制御システム)機器の開発・製造・販売 ・センサー類のクリアモールドパッケージの製造 ・LBP・小型複写機用トナーカートリッジの製造

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