株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
半導体フォトリソプロセス関連装置、特に特殊塗布技術を提供いたします。高…
フォトレジストの塗布・露光・現像装置をメインとし、両面露光装置等、フォトリソグラフィープロセス全般および関連プロセス装置の設計・製造・販売を行っております。
特に、凹凸やV溝のある基板または、角基板や不定形基板への均一性の高い塗布技術を有しております。さらに、高圧ジェットNMPによるバリ、メタルの再付着の発生の無い剥離・リフトオフ装置を開発し、販売しております。
その他、ポリイミド・PBF…