エアカーテン『Pamir』※設置効果シミュレーション付き資料進呈

PR【電気代削減・シミュレーション無料】均一な空気のカーテンで冷気をしっか…

FRICO社は、スウェーデンで85年以上の歴史があり、 その「エアカーテン」は世界でも高い​シェアを誇る製品です。 『Pamir』は、隙間のない均一な空気のカーテンにより、 建物の出入り口における空気の流出入を防ぐ製品です。 整流効果の高い独自構造を採用。噴流幅が薄く、噴流速度も一定の為 到達風速分布が安定し、優れた熱遮断効果が得られます。 空調効率の向上が期待でき、大幅な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フカガワ

【無料サンプル進呈中】省人化に寄与する自動給油器　パルサールブE

PR【防爆検定合格品】すぐに使用できる自動給油器。設定期間に応じてグリース…

使用方法は、グリースニップルを取り外してパルサールブE型を取り付けるだけ。たった1分の作業で大変なグリスアップを自動化することができます。1～12ヵ月の吐出期間設定ができ、低コストで潤滑作業を省力化し、工場の省人化に役立ちます。自動給脂のメリットは、回転体にとって最適な状態を維持できることです。潤滑の改善でトラブルを未然に防ぎましょう。 【特長】 ■　ちょう度2番までのグリースであれば、ど...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

PIND試験装置　微粒子衝撃雑音検出装置

デバイスの異物粒子を検出。一時間当たり2000部品以上の試験が可能。

オシロスコープの輝線上に表れるスパイクとしての視覚的な判別ができます。 スピーカーより音質変化による聴覚的な判別、調整された検出レベルの トリガーでのFAILランプの点灯による判別も可能です。 規格試験MIL－STD－883、MIL－STD－750、MIL－STD－220に適合します。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【仕様】 ○振動 周波...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

半導体部品の欠陥検出　「遠心定加速度試験装置」

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コン…

「遠心定加速度試験装置」は、半導体部品の構造上・機械的欠陥の検出をします。 【特徴】 ローター室保護のために鋼鉄製の二重リング銅やスライドドアを採用 回転体のアンバランス検地に非接触の渦流センサーを採用 モーターの回転数が設定値より20%を超えると停止する過回転保護機構を採用 本体の異常振動検知に振動スイッチを採用 真空度のチェックに真空監視機構を採用 その他詳細は、カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

モデルＵ７０９シリーズは、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍＬからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　マスフローセンサ　Ｍｏｄｅｌ　５０シリーズ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レ…

マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはＮ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　薬液用流量センサ　Ｍｏｄｅｌ　１０６シリーズ

１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。 ＰＴ…

モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。 標準の接続はＰＦＡタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケー...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　小型薬液流量コントローラ　Ｕ８０３／Ｕ８０４

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最…

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７〜５０ｍＬ／ｍｉｎから最大レンジは１００〜１０００ｍＬ／ｍｉｎまで５種類用意されています。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）と比例制御バルブの組み合わせにより優れた再現性と長期にわたり正確な流量コントロールが可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。継手...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　腐食性ガス対応　微圧センサ　２０１

接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅…

モデル２０１は耐食性の微差圧トランスミッタです。 接ガス部は全溶接構造でリークの心配がない構造になっています。 接ガス部の材質はインコネル６００シリーズを採用、継手部はＳＵＳ３１６を採用して耐腐食性に優れます。ローコストで微圧の計測を行う事が出来ます。 補償温度範囲も－７℃～８０℃と広く作られ厳しいアプリケーションで長期の安定性に優れます。 精度　±０．５％ＦＳ 一方向レンジは０～１０ｋ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

ATプレス『ATD100/ATP100』

エアプレスで40kNの高推力を実現

ATプレスは、アイセル独自のパワー機構を採用し、 通常のエアシリンダーより推力を大幅にアップさせたエアプレス機です。 コンパクトでエア源のみで設置できるため、手軽にご使用いただけます。 薄物フィルムのハーフカット・全抜き加工、 全自動化ラインの...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

半導体製造工程で使用される液冷システムに特化し開発されたステンレス・ス…

を持つ液体冷媒の漏出を防止 ■バルブ作動不全の漏れリスク低減 長期接続後の分離の際に、Oリングがドライ状態になり潤滑性を失ったことによる、バルブが閉じず液漏れが発生するリスクを低減 ■エア混入量低減 接続時に混入するエアによる気泡やエア溜まりが原因となる流量・圧力の低減防止 ■SUSチューブと直接接続可能 カップリングとチューブフィッテングの一体構造（ダブルフェルール チュ...

メーカー・取り扱い企業： セインジャパン株式会社

【半導体対応】100％水切りできる『エアースクリューノズル』

エアーブローでの完全水切りがついに実現！瞬時な100％水切り・完全乾燥…

【とにかく動画が証拠です。必ずご覧ください！】 従来のエアーノズルでは、洗浄後にエアーブローのみで100％水切りすることは不可能であり、完全乾燥させるには別途乾燥工程が必要でした。 それどころか「エアーノズルでは完全な水切りは不可能」というのが製造業の常識...

メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社

水なし、風だけでパーティクルを徹底除去『エアースクリューノズル』

【もはや革命】水洗浄不要！エアーブローだけでパーティクルを除去します

＜クラス100対応！半導体の洗浄に使用できます＞ 当エアーノズルは特許も取得した独自技術により、従来のエアーノズルと比較してエアーの噴出力がケタ違い。強力なエアーブローにより、半導体に付着したパーティクルを除去します。（クラス100対応） つまり、これ...

メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 　　　　　 　　 搬送、反転、傾斜することが可能...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

マスクレス露光装置PALET『DDB-701シリーズ』

トライ＆エラーが必要不可欠な研究・試作用途に好適なマスクレス露光装置

手軽に、思いのままに行えるマスクレス露光装置です。 装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現。 フローティング構造を採用することで振動を抑制し、 防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現し、 導入に際して障害となりやすい圧縮エアなどのユーティリティを取り除きました。 【特長】 ■設置場所に困らない卓上型 ■業界の常識を覆す低価格設定 ■ユーザフレンドリーな...

メーカー・取り扱い企業： ネオアーク株式会社 東京営業部

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

保持状態 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 290mm/sec 80mm/sec 130mm/sec 40度/sec カセット保持 エア駆動によるエッジグリップ式チャックによる保持 繰り返し精度 ±0.2mm 質量 システム本体 約160kg（設置フレームを除く） ユーティリティ エア：カセットグリップ駆動用 0.25±0.0...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ

拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナ…

EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

レーザー樹脂溶着装置　デモ機活躍中

2021年8月より稼働を開始したレーザー樹脂溶着でも装置。精力的に稼働…

■レーザー安全クラス：1 ■レーザー出力：200W ■レーザー波長：980nm ■加工フィールド：150mm x 110mm ■電源：400V - 3Ph/N/PE, max. 3kW ■エア：6bar ■環境条件 　・最高周辺温度40℃ 　・最高湿度 25℃、80% ■冷却システム：内蔵空冷ユ二ット ■寸法(WｘHｘT)：PowerWeld2600:840 mm x 2200...

メーカー・取り扱い企業： LPKF Laser&Electronics株式会社

おすコネクタ＠くいこみ継手／ダブルフェルール継手【無償サンプル】

おすコネクタ（くいこみ継手／ダブルフェルール継手）768LRSS1/4…

株式会社鈴木商館 　積水化学工業株式会社 　大陽日酸株式会社 　東京エレクトロン株式会社 　東芝メモリ株式会社 　東横化学株式会社 　株式会社巴商会 　日本エア・リキード株式会社 　株式会社堀場エステック 　三菱日立パワーシステムズ株式会社 ※五十音順 ＜主要お取引先　海外＞ 　Agilent Technologies 　Ai...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

段取替え不要！基板自動サポートピンシステム『Quik-tool』

どのメーカーのマウンターや印刷機にも対応し、片面基板だけでなく両面基板…

り替えのたびに工数がかかる。たとえピンの配置を自動化したとしてもやはり待ち時間という段取替え時間が必要。 　・ 　・ 　・ その工数、ゼロにしませんか？ - トリガー信号（手動モードあり）によりエアを使用してピンが上昇、高速で基板全体を保持 - 基板の凹凸に合わせてそれぞれのサポートピンの高さが変わるため両面基板であっても段取り替えが不要 - 保持する部品にかかる上向きの力は１ピンあたり ...

メーカー・取り扱い企業： アルファエレクトロニクス株式会社

簡易スラリー供給装置　P65

ウエハ研磨用

スラリー液をタンク内で希釈混合したものを装置へ供給するための実験用供給装置です。 【特徴】 ○タンク容量：125L アイボリー塩ビ製 ○ダイアフラムポンプ：10リットル毎分 ○供給エア：85リットル毎分 ○電源容量：AC100V 5A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

せん。 脈動が無い、スムースな定常流を得られます。 回転数又はクローズドループ制御に必要なコントローラが内臓されているので組込み費用が安くなります。 電子的に回転数をコントロールできます。 エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型で、小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。 医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています (平均故障間隔 /MTB...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

【クリーニングの原理】 1.ドライアイスパウダーは窒素ガス等のエア洗浄と異なり、 　付着した汚れに衝突した際に、その運動量で汚れを引き剥がします。 2.液体状態のCO2は優れた溶媒であり、油分等の汚れに触れた際に 　有機物を分解する効果があります。 ...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

クターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

573mm（BOLTS インターフェース面より） ・重量：115kg（マッパー以外の各種オプションを含まず） ■ドッキングメカニズム ・FOUP クランプ：Hold Down Feature（エア駆動） ・FOUP ドア保持：真空吸着 ・ドッキング時のウエハ位置：BOLTS インターフェース面より254mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

セット ・太陽電池ウエハ非接触搬送装置 ・ウエハチップ非接触搬送装置 ・レンズ非接触搬送装置 ・フィルム非接触搬送装置 ・プリント基板、FPC非接触搬送装置 ・不織布非接触搬送装置 ・エア浮上高精度検査テーブル ・シート枚葉送出装置...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

マイクロ　エアモーター

超小型エアー駆動モーター

空気、窒素、その他不活性ガスにて最大1.1Mpaまでの圧力で使用可能。 ■アルミとステンレス構造による精密エアモータが、確実な動力源と高い製品寿命を生む。 ■先進的なローターブレードと高度に磨き上げられたシリンダーにより連続使用が可能。 ■最善なバランス位置に配置されたローターが、高精度ベアリングの摩擦...

メーカー・取り扱い企業： 明友エアマチック株式会社

非接触チャック「フロートチャックSA型」

空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の非接触パッド「フロートチャックSA型シリーズ」は従来品に比し空気消費量...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

エッジグリップチャック

裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。

搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能 高速搬送が可能 ガイドの動作量によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

クターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じレンズを引き寄せることになります。レンズが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、レンズを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とレンズとの距離を自動的に保持する距離にて、レンズを空中...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

マクミラン　テフロン製　液体用流量センサ　１０６Ｆ

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍ…

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続は１．８ｍのケーブル...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セミオートスクライブ装置『TEC-2005RM』

ハイスピード・ハイクオリティ！4インチウェハ対応のセミオートスクライブ…

-2005RM』は、加工軸・送り軸・カメラ軸がそれぞれ独立した 4インチウェハ対応 セミオートスクライブ装置です。 バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共に エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。 また、駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、 より精密なスクライブが可能になりました。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場