受託加工サービス

PR切断をはじめ、ポリッシング、積層などの工程をご紹介！当社の受託加工のご…

脆性材の端面ポリッシング、および、端面塗布の受託加工をご案内 ショーダテクトロンでは、脆性材加工用機械装置の技術を活かして、矩形、円形、その他形状の硝材の端面ポリッシング加工、および自由形状の端面樹脂塗布の加工を受託致します。また、端面研磨に関しましては、協力工場を通して、インゴットご支給からのスライス、芯出し、端面研磨といった一貫した加工も承ります。 試作品や小ロットの加工をお考えでしたら、...

メーカー・取り扱い企業： ショーダテクトロン株式会社

長寿命水殺菌ランプ

PR電源のON/OFFに強い水殺菌ランプ。15,000hの長寿命。

冷陰極の長寿命水殺菌ランプ。 冷陰極ランプは点滅に強く、電源のON/OFFによる寿命の減少がほとんどありません。 CCFLランプのコンパクトな特徴を活かし、石英ガラス管内にランプとインバータを内蔵。１つのアダプターに対し省スペースで複数のランプを連結し点灯することが可能です。 波長：254nm 寿命：15,000h 詳しくはお問い合わせください。...冷陰極蛍光ランプ(CCFL)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社納屋商事

ガラス基板のケミカルエッチング加工サービス

エッチング液は全て、ノウハウによる社内ブレンド！

当社では、耐HF性能を持つ液体レジストを有する為 ガラスを酸で溶かして、様々な形状に加工可能な ガラス基板のケミカルエッチング加工を行っております。 仕上り面は滑らかで機械加工で発生する「マイクロクラック」等の 欠陥は発生し難く、高い強度が得...

メーカー・取り扱い企業： 武蔵野ファインガラス株式会社

ガラス表面処理剤ーガラスエッチング剤

フロステックのガラス表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミ…

（有）フロステックのガラスエッチング剤は全て自社開発です。 ●フッ酸は使用していません。また、フッ化物の使用量も低減しています。 ●様々なガラス種、ソーダガラス、再生ガラス、クリスタルガラス、セミクリスタルガラス、...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社フロステック

ガラスエッチング装置【液晶ガラス基板】| NSCEng

液晶ガラス基板の薄肉加工ケミカル研磨の自動装置として、G6世代までの薄…

×機械研磨ではタクトが合わない。 ×フッ酸によるガラス溶解では綺麗に仕上がらない。 などのお困りごとを解決します。当社のガラスエッチング装置は「浸漬ディップ式」と「枚葉搬送スプレー式」の2種類あります。どちらも量産装置として数多くの実績がある装置で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NSC エンジニアリング本部

石英ガラス用エッチング剤

フロステックの石英ガラス用エッチング剤は、自然環境と作業環境にやさしい…

光学用レンズ、各種理化学実験用器具、ＣＶＤ・拡散用各種炉芯管、各種ボード・治具、フォトマスク基板、光源ユニット、各種ランプ用管などに使用されている石英ガラス用のエッチング剤です。 ●クリアタイプでエッチングすることにより、石英ガラス基板に微細なパータンを施すことができます。 ●フロストタイプでエッチングすることにより、石英ガラス製品や基板へ微...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社フロステック

ITOガラスエッチング剥離装置

簡易な槽内洗浄が可能！装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れていま…

『ITOガラスエッチング剥離装置』は、ガラス基材表面のITO（透明導電性膜）を エッチングする製品です。 駆動部の簡易洗浄ノズル管により、駆動ギアの結晶防止機能を持たせており、 薬液槽内にも洗浄スプレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)

表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価…

詳しくはカタログをダウンロード下さい。 『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ 【実用例】 ・異...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

ｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。 大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応 「従来機種ＥＸＡＭ」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理にも実績豊富。 電子デバイスだけでな半導体製造装置部品や材料などくクリーンネス...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム（有機用） ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス（有機用） ○爆圧ハッチ（有機用） ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

レジスト剥離洗浄装置　※テスト可能機種あり

循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置

センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス ○爆圧ハッチ ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もございます。 ※当社の東京テストセンター（東京都墨田区）にて、テストを実施頂けます（オン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー外付型の 有磁場型マイクロ波励起ラジカル源 【特徴】 ○プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認可能 ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○ラジカル源用途以外に加速用高圧電源（オプション）の 　使用によりイオン加速が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

ードロック式　ロードロック室　エッチング室各１室構成 　　　　　　　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ８インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■基板材質：Si、ガラス、化合物半導体基板（GaAS、サファイア）等 ■エッチング対象：各膜種 Al系（AlSi、AlSiCu）・Cr等 　　　　　　　　：各基板 GaAS・サファイア等　　　　　　　　　 ■対象プ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＦＲＰ製　工業用ローラー　「ＦＰローラー」

エッチング工程に適した高耐食高耐久ローラー

高耐食性・耐熱性ビニールエステル樹脂、又は不飽和ポリエステル樹脂を用い、強化材として高耐食性ガラス繊維、及び高摩耗性の有機繊維との複合材です。 比　　　重：１．４～１．５ 引 張 強 さ ：７００～９００ kgf/cm2 曲 げ 強 さ ：１２００～１４００ kgf/cm2 曲げ弾...

メーカー・取り扱い企業： 富士化工株式会社

ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

グ室各1室構成 　　　　　　　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ8インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■対応基板：Si、石英、セラミックス（アルミナ、AlTiC等）ガラス、 　　　　　　圧電体（LT，LN）等 ■エッチング対象：基板Si、石英、 　　　　　　　　　各膜種 Si系(SiO2、SiN)・有機膜　等 ■対象プロセス：Si深掘り、SiN犠牲層形成、各種薄膜...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

も互換性を持っており、電極交換によりＣｕエッチング等新プロセス対応にアップグレード可能。 大型基板用にＣToＣタイプも対応可能 Ｃｕ膜など難エッチングプロセスに対応し幅広い基板ウェハ’（Ｓｉ、ガラス、セラミックス）、ＦＰＤ、高密度プリント板、フォトマスク等幅広い用途に対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

中赤外 広帯域 波長可変ピコ秒レーザー

中赤外波長可変レーザーOPPO MIRは 2.8～4.2umの波長範囲…

■高い信頼性と優れた安定性を併せ持ち、リモートセンシングや医療、バイオイメージングなどのアプリケーションで使用されています。 ■特定の高輝度、コヒーレントにより大気汚染の検出、赤外線硫黄ガラスの特性評価にも使用されています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセス...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

薄膜パターニング装置『FILM LASER』

加工の一体化的な装置化！自動切断による生産効率を向上したレーザーシステ…

薄膜パターニング装置『FILM LASER』は、ガラスや樹脂などの各種基板上の 薄膜除去加工に特化した装置です。 ご要望により最大加工エリアサイズは800mm×800mmまで、ライン＆スペースは 20μm/20μmと微細なパターンにも対応可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デルファイレーザージャパン

OLED用処理装置

処理速度は0.6～5.0m/min（可変）！有機EL製造ラインの洗浄装…

0×470×1.1を処理致します。 装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・ Crエッチング装置・ITOエッチング装置で構成しています。 【主な仕様】 ■被洗浄物：ガラス基板 370×470 厚み 0.6～1.1t ■処理方法：枚用処理 ■処理速度：0.6～5.0m/min（可変） ■パスライン：FL＋1100mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

ピンセットでハンドリング出来る。 ２．手操作である ３．傷･汚れの付着がない。 ４．簡便である。 ◎適応 １．６ｉｎおよび８ｉｎウエハ 　　（他のウエハ用も製作しております。） ２．ガラス基板 ３．レンズ ４．チップ ５．太陽電池 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ふっ素樹脂熱交換器　フロロエックス（潤工社製）

いろんな溶液を温めたり・保温するのに最適！テフロン製の熱交換器ならそん…

１、ふっ素樹脂PFAを伝熱管に使用、高温時の環境ストレスクラッキングや耐熱衝撃性に優れています。またフレキシビリティがあるためガラスやグラファイトのように熱や機械的衝撃で割れることがありません。 ２、有害な物質の溶出が無く、プロセス液を汚染しません。半導体やプリント基板などの高い純度を要求される用途に最適 ３、ほとんどの化...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

グラッシーカーボン　加工品で納品もOK・石原ケミカル株式会社

高純度のカーボン素材でパーティクルがなく、気体を透過しません。しかも軽…

グラッシーカーボンは黒色ガラス状の炭素素材で『樹脂を焼成してからさらに熱処理を加えてカーボン化』した製品です。 耐薬品性や電気伝導性に優れ、黒鉛に比べるとパーティクルが出ず、ガス透過の心配がないので半導体装置用部材に使用され...

メーカー・取り扱い企業： 石原ケミカル株式会社 高機能材料

無アルカリガラス及びソーダガラス用エッチング剤

フロステックの無アルカリ及びソーダガラス用エッチング剤は、自然環境と作…

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用ガラス基板などに使用されている無アルカリガラスやソーダライムガラス用のエッチング剤です。 ●クリアタイプで端面をエッチングすることにより、ガラス基板切断時に生じるマイクロクラックを除去し、端面強度...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社フロステック

WETプロセス装置　LCD枚葉エッチング装置

LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…

ETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○ディップ、スプレー及び揺動機能方式エ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

サファイア製部品　Scube（エスキューブ）

広い透過特性、硬い、化学的に安定、熱に強い、熱伝導が良い サファイア製…

失透しない) 　・熱に強い　(融点：2040℃) 　・熱伝導が良い　(42W/mK, 25℃) 　といった特長があります。 　過酷な環境でも耐える強さと良好な光学特性を併せ持つ材料なため、ガラスやフッ化物の課題を解決する材料の一つです。 　近年は約300mmの大型結晶を育成できるようになってきたため、幅広い用途へ応用できるようになってきました。 ※総合カタログは弊社オフィシャルH...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社