サンユー電子 | イプロスものづくり

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸着装置は、大学や公的研究機関の各研究室、民間企業の開発担当の方々...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

電子顕微鏡試料作製用装置　SC-701Mk II ECO

シンプルを追求したコーター　ボタン1つで簡単に操作できます

QUICK MINI COATER SC-701Mk II ECOは、軽量コンパクトでSEM試料用前処理に特化したコーターです。【特長】〇ボタン1つのスーパーイージーオぺレーション〇マグネトロンカソード採用によりイオンダメージを軽減〇スモール、コンパクト&ライトウェイト ...【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-P...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

電子顕微鏡関連機器　電子線描画用パターン発生装置 SPG-724

お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能です。

電子線描画装置用パターン発生装置 SPG‐724は、半導体を製造するためのものではなく微細回路・微小光学部品・ナノマシンの研究開発を行うためのものです。電子線発生と偏向は、SEMそのもので行っています。SPC‐724をSEMに取付けることで、観察用のSEMが描画装置になるわけです。 SEM本体の他に必要なものは、ビームのオンオフを行うブランキング装置、露光量を測定するための電流計、描画パター...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

手軽に電極膜作製　デスクトップコンパクトコーター

45年以上のロングセラーモデル手軽に電極膜作製ができるデスクトップ…

45年以上に渡るロングセラーモデル小さなボディながらも、電極用薄膜作製から電子顕微鏡(SEM)用試料作製まで対応。オフィスのデスクに置かれていても違和感のないデザインとコンパクトさ!! 【特徴】〇スモール＆コンパクト〇ベルジャーを持ち上げる必要のない前面ドア開閉方式　⇒　サンプルのセット/取出しが楽に行なえます。〇間欠スパッタ機能を標準搭載〇多彩なオプションをご用意：シャッター付前面...

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TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。また、専用オプションにより、有機物の薄膜...

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8インチスパッタコーター　SC-708シリーズ

大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4～8インチ…

QUICK COATER SC-708シリーズは、SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として、また、一度に多くのサンプルの成膜処理を行ないたい場合に最適なスパッタコーターです。【特徴】〇サンプルサイズや数量に応じて、4、5、6、7、8と1インチ単位で選択が可能です。〇コーティングモード/エッチングモード搭載〇スパッタ薄膜作製はもちろん、マイクロチャネル流路形成時...

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カーボンコーター　SC-701CT

個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用とし…

QUICK CARBON COATER SC-701CTは、EPMAや分析SEMの試料作製の手間を省いたカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単・手軽にカーボン蒸着できます。個人差のない蒸着を実現し、試料に対する熱ダメージを低減します。【特長】〇フラッシュ式蒸着法を採用　→　個人差のないカーボン蒸着を実現〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く〇ロータリーポンプのみによる...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

多種金属対応　プログラマブルスパッタコーター

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…

QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。【特徴】〇プログラマブルスパッタコーター〇フルオート/マニュアルの2タイプの操作〇シャッター標準装備...【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット...

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マグネトロンスパッタコーター　SC-701MC

イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用フルオートマチック…

軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター【特徴】 ○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 ○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献 ○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート ○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます ...【仕様】〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/P...

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全自動イオンコーター　SC-701AT

SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター

QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。【特徴】 ○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。 ○コーティング/エッチングモード搭載〇デバイスの電極膜付けにも使用可能 ...【仕様】〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：A...

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デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適！　試料作製の煩わしさを解消します。

「SC-701AT」は、全自動コーターです。排気操作完全自動式で、膜厚制御連動式です。走査電子顕微鏡用試料作製に最適で、デバイスの電極膜付けにも使用できます。【特長】 ○電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製 ○プリセット方式により、膜厚のコントロール（簡易型）が可能 ○前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【仕様...

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コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。【特長】...

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プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

Ni／Cr／Wなどに対応！ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

「SC-701HMCII」は、W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、かつ格段に高い精度でコントロールすることができ...

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デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです…

「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル＆イージーオペレーションです。イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。 SEM用試料の前処理用として最適です。【特長】 ○シリーズ最小のコンパクトコーター ○低価格／小型軽量タイプ ○熱ダメージ防...

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多種金属対応！業界最小クラスの超コンパクトコーターです。

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…

「SC-701Mk II ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックコンパクトコーターです。 DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデルです。各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。【特徴】 ○真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保 ○スモール、コンパクト＆ハイスペック ○手動式シャッター標準装備...

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研究・開発実験用　RFスパッタ装置

実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

☆金属薄膜は勿論、絶縁薄膜/酸化薄膜作製に対応した小型RFスパッタ装置☆ お薦めPOINT　＜実験目的にあわせたカスタマイズ!!＞ 1．試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意 2．カソードサイズは2〜6インチに対応 3．2インチカソードタイプは3源式にも対応　＝　薄膜の積層を実現 4．多彩なオプションをご用意　　基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc....☆金属薄膜...

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デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』

コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…

『SVC-700RFIII』は、卓上に置けるコンパクトなサイズながらφ2インチのカソードを3基搭載。3種類のターゲットを使用した積層膜の形成が可能なRFマグネトロンスパッタ装置です。ガス導入機構を増設でき、アルゴンガスを含めた最大3種類のガス導入が可能。金属薄膜に加え、絶縁薄膜、酸化物・窒化物薄膜など様々な薄膜作製に対応できます。【特長】 ■研究開発向けのデスクトップサイ...

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イオンミリング装置による受託サービス｜JTL

機械研磨では潰れて観察できない構造をきれいに面仕上げします。

研磨面仕上がりを得ることが可能です。・試料への負荷が非常に低く、ダレの少ない研磨面が得られるため、界面のボイドやクラックの観察にもご利用いただけます。【カップ包埋した試料も調整可能（サンユー電子製：SVM-730）】・広いチャンバー部で比較的大きな試料も調整可能です。・包埋樹脂で研磨仕上げした試料も、平面イオンミリングでご対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社

コンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。

マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

研究・開発実験用　RFスパッタ装置

実験目的に合わせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

金属薄膜はもちろん、絶縁薄膜/酸化薄膜作製に対応した小型RFスパッタ装置【特徴】 ○試料サイズに合わせた3種類のチャンバーをご用意〇カソードサイズは2、４、6インチに対応〇2インチカソードタイプは3源式にも対応　⇒　積層薄膜作製を実現〇多彩なオプションをご用意　　基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc. ...〇仕様詳細については、お問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社