オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

3次元レーザ統合システム『ALCIS-1008e』

PR【変わる世界に、光でこたえを。】高出力Blueレーザによる高速・高品質…

『ALCIS』 日々進化する素材や工程に対応する柔軟な加工機 高出力Blueレーザ発振器/ファイバーレーザ発振器を搭載 「高出力Blueレーザ」 高出力BLUEレーザ（３kW/４kW）により、高速・スパッタレスの銅溶接を実現します。 「スキャナヘッド」 スキャナヘッドにより多数の加工点の高速加工を実現。 コンビ加工、オンザフライ加工、スキャナ加工の三つの加工方法で、 好適な加工方法を選択可能で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アマダ（アマダグループ）

スパッタリングの基礎知識

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産…

フィルムやガラスの基材の表面に薄膜を形成する手法には、塗布、印刷、 めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの 薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術です。 実際のスパッタリングにおいて「石」の役割を果たすのが、真空の容器 （真空チャンバー）内に充填されたアルゴン（Ar）などの不活性ガスです。 スパッタリングでは真...

メーカー・取り扱い企業： デクセリアルズ株式会社

【英文市場調査レポート】スパッタリング装置の世界市場

『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…

スパッタリングは、表面または基板上に材料の薄膜を堆積させるために利用される技術と定義することができます。 スパッタリング装置は、集積回路製造プロセスやウエハー製造において、基板上に異なる材料の薄膜を堆積させるために使用されます。スパッタリングには、マグネトロンスパッタリング、リアクティブスパッタリング、コスパッタリングがあります。Otは、半導体産業において、集積回路加工における様々な材料の薄膜を成膜す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローバルインフォメーション

【エッチング、スパッタリングの冷却水温調】チラーPCUシリーズ

アピステのチラーはノンフロン・高耐久・超ワイドレンジの3シリーズ展開！…

【エッチング、スパッタリングの冷却水温調】 基板冷却のプレートや真空チャンバ内の冷却水の温度と流量、吐出圧力を一定に保ちます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 【選べる3シリーズのチラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ

【市場調査レポート】純金属スパッタリングターゲット材料の世界市場

Global Pure Metal Sputtering Target…

世界の純金属スパッタリングターゲット材料市場の収益は、2021年に20億4、000万米ドル、2022年末には21億5、000万米ドル、2028年には24億3、000万米ドルに達する見通しです。 また、2022年から2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローバルインフォメーション

【調査資料】銅スパッタリングターゲットの世界市場

銅スパッタリングターゲットの世界市場：低純度銅スパッタリングターゲット…

本調査レポート（Global Copper Sputtering Target Market）は、銅スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の銅スパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】タンタルスパッタリングターゲットの世界市場

タンタルスパッタリングターゲットの世界市場：低純度タンタルスパッタリン…

本調査レポート（Global Tantalum Sputtering Target Market）は、タンタルスパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のタンタルスパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【レポート】スパッタリングターゲット・スパッタ膜装置の世界市場

Sputtering Targets and Sputtered Fi…

世界のスパッタリングターゲット・スパッタ膜装置の市場規模は、2020年は6億9、040万米ドルで、予測期間中に5.2%のCAGRで拡大すると予測されます。 当レポートでは、世界のスパッタリングターゲット・スパッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローバルインフォメーション

【調査資料】チタン製スパッタリングターゲット材料の世界市場

チタン製スパッタリングターゲット材料の世界市場：低純度チタンスパッタリ…

本調査レポート（Global Titanium Sputtering Target Material Market）は、チタン製スパッタリングターゲット材料のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のチタン製スパッタリングターゲット材料市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】純金属スパッタリングターゲット材料の世界市場

純金属スパッタリングターゲット材料の世界市場：低純度スパッタリングター…

本調査レポート（Global Pure Metal Sputtering Target Materials Market）は、純金属スパッタリングターゲット材料のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の純金属スパッタリングターゲット材料市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】タンタルスパッタリングターゲット材の世界市場

タンタルスパッタリングターゲット材の世界市場：低純度タンタルスパッタリ…

本調査レポート（Global Tantalum Sputtering Target Material Market）は、タンタルスパッタリングターゲット材のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のタンタルスパッタリングターゲット材市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】純金属＆合金スパッタリングターゲット材料の世界市場

純金属＆合金スパッタリングターゲット材料の世界市場：純金属スパッタリン…

本調査レポート（Global Pure Metal and Alloy Sputtering Target Materials Market）は、純金属＆合金スパッタリングターゲット材料のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の純金属＆合金スパッタリングターゲット材料市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】真空スパッタリングコーティング機の世界市場

真空スパッタリングコーティング機の世界市場：シングルチャンバー、ダブル…

本調査レポート（Global Vacuum Sputtering Coating Machines Market）は、真空スパッタリングコーティング機のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の真空スパッタリングコーティング機市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】ソーラー用スパッタリングターゲットの世界市場

ソーラー用スパッタリングターゲットの世界市場：金属ターゲット、合金ター…

本調査レポート（Global Solar Sputtering Targets Market）は、ソーラー用スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のソーラー用スパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】高純度金属スパッタリングターゲットの世界市場

高純度金属スパッタリングターゲットの世界市場：金属ターゲット、合金ター…

本調査レポート（Global High Purity Metal Sputtering Target Market）は、高純度金属スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の高純度金属スパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】スパッタリングターゲットの世界市場

スパッタリングターゲットの世界市場：金属、合金、セラミック、その他、半…

本調査レポート（Global Sputtering Targets Market）は、スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のスパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】高純度合金スパッタリングターゲットの世界市場

高純度合金スパッタリングターゲットの世界市場：スクエアターゲット、サー…

本調査レポート（Global High Purity Alloy Sputtering Target Market）は、高純度合金スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の高純度合金スパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】半導体スパッタリングターゲットの世界市場

半導体スパッタリングターゲットの世界市場：チタンターゲット、アルミニウ…

本調査レポート（Global Semiconductor Sputtering Targets Market）は、半導体スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の半導体スパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】合金スパッタリングターゲット材料の世界市場

合金スパッタリングターゲット材料の世界市場：鉄（Fe）ベース合金ターゲ…

本調査レポート（Global Alloy Sputtering Target Materials Market）は、合金スパッタリングターゲット材料のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の合金スパッタリングターゲット材料市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】スパッタリングターゲット材料の世界市場

スパッタリングターゲット材料の世界市場：金属ターゲット、合金ターゲット…

本調査レポート（Global Sputtering Target Material Market）は、スパッタリングターゲット材料のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のスパッタリングターゲット材料市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】スパッタリング装置用カソードの世界市場

スパッタリング装置用カソードの世界市場：線形、円形、自動車、電子、航空…

本調査レポート（Global Sputtering Equipment Cathode Market）は、スパッタリング装置用カソードのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のスパッタリング装置用カソード市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】ITOスパッタリングターゲットの世界市場

ITOスパッタリングターゲットの世界市場：低密度（密度：98％以上）、…

本調査レポート（Global ITO Sputtering Targets Market）は、ITOスパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のITOスパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】セラミックスパッタリングターゲットの世界市場

セラミックスパッタリングターゲットの世界市場：平面ターゲット、ロータリ…

本調査レポート（Global Ceramic Sputtering Targets Market）は、セラミックスパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のセラミックスパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】金属スパッタリングターゲットの世界市場

金属スパッタリングターゲットの世界市場：金属ターゲット、合金ターゲット…

本調査レポート（Global Metal Sputtering Target Market）は、金属スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の金属スパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】ITOスパッタリングターゲット材料の世界市場

ITOスパッタリングターゲット材料の世界市場：平面ターゲット、回転ター…

本調査レポート（Global ITO Sputtering Target Material Market）は、ITOスパッタリングターゲット材料のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のITOスパッタリングターゲット材料市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】マグネトロンスパッタリングシステムの世界市場

マグネトロンスパッタリングシステムの世界市場：永久磁石式、電磁式、電子…

本調査レポート（Global Magnetron Sputtering System Market）は、マグネトロンスパッタリングシステムのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のマグネトロンスパッタリングシステム市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

酸化インジウムスズ（ITO）スパッタリングターゲットの世界市場

酸化インジウムスズ（ITO）スパッタリングターゲットの世界市場：平面タ…

本調査レポート（Global Indium Tin Oxide (ITO) Sputtering Targets Market）は、酸化インジウムスズ（ITO）スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の酸化インジウムスズ（ITO）スパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲットの世界市場

フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲットの世界市場：金属タ…

本調査レポート（Global Flat Panel Display Sputtering Targets Market）は、フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のフラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】PVD（物理蒸着）コーターの世界市場

PVD（物理蒸着）コーターの世界市場：蒸発装置、スパッタリング装置、そ…

価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。 PVD（物理蒸着）コーター市場の種類別（By Type）のセグメントは、蒸発装置、スパッタリング装置、その他を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、電子・パネルディスプレイ、光学・ガラス、自動車、ツール・ハードウェア、その他を対象にしています。地域別セグメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【技術資料】スパッタリングによる薄膜で素材に新機能

製造系エンジニアのための技術情報！スパッタリング技術について詳しく解説

当資料は、デクセリアルズの緻密な薄膜形成技術である 「スパッタリング技術」について掲載しています。 技術の特長やその応用などを、イラストやグラフを用いながら詳しくご紹介。 スパッタリング技術を活かした当社の製品「反射防止フィルム」についても 掲載...

メーカー・取り扱い企業： デクセリアルズ株式会社

世界のスパッタリング装置カソード市場調査資料

スパッタリング装置カソードの世界市場（2023～2028）：線形、円形

Mordor Intelligence社の本調査資料では、グローバルにおけるスパッタリング装置カソード市場規模が、2021年に1,029.82百万ドルとなり、予測期間中（2022年〜2027年）にCAGR5.82％で拡大し、2027年までに1,442.58百万ドルに到達すると展望し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

【英文市場調査レポート】スパッタリング装置の世界市場

『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…

当レポートではスパッタリング装置の市場規模は、2022年から2027年の間に5億3528万米ドル、予測期間中のCAGRは5.21％で成長する見込みであるとしています。 当レポートでは、スパッタリング装置市場の全体的な分...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローバルインフォメーション

スパッタリング方式ロードセル

スパッタリング技術を採用することにより、製品のローコスト化を実現。 …

特長/用途 小型・スパッタリング方式・ローコスト・平面/球面ロードボタン付属 スパッタリングゲージ採用により、ローコスト化を実現しました。 ロードボタン（平面・球面）を付け替えることにより、対象物に対して理想的な負荷...

メーカー・取り扱い企業： ティアック株式会社

多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

容易。 【各種　選択機能】 ●カソード変更（大型カソード化、4インチカソード多元化） ●高温加熱機構（800℃） ●バイアススパッタ機構 【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイプスパッタリング装置 ●巻取式スパッタリング装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co

FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向…

このシステムには3つのスパッタリングソースと プレクリーニングエッチャーがすべて共焦点形状に配置されており、生産性を高めるためにロードロックならびに搬送チャンバを追加することも可能です。スパッタリングソースには直径100mmのシ...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

小型スパッタリング装置

コンパクト設計で省スペースを実現！大学や民間の研究室に最適なスパッタリ…

韓国 A-tech社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。 物性研究や製品QCおよびQA、半導体の故障解析などに最適です。 ■詳細はカタログダウンロードより■ ●御問合せ：03-5472-1722 (TEL)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現 ８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応 電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

搬送室を中心としたクラスター型スパッタリング装置。 基板搬送もベア及びトレイ（サセプター）も標準対応。矩形・小径・不定形 多くの基板に積極対応。 最大8インチ及び8インチ相当の矩形基板に対応。6角形タイプと4角形タイプの２機種を標...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』

フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能！真空及びガス置換雰囲…

『HMS2-300』は、フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能な ため、高温化での成膜が可能な2インチ2元スパッタリング装置です。真空 及びガス置換雰囲気下での成膜に対応しています。2インチマグネトロン式 スパッタカソードを具備しており、最大3元まで増設可能です。オプション でL/Lチャンバ、移動式膜厚計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

ターゲット材『スパッタリングターゲット』

高純度・高品質のレベルが違う、薄膜形成材料のマストアイテム！

『スパッタリングターゲット』は、純度99.5％～99.999％ までの高純度品を誇る、高品質薄膜形成材料です。 当社では、お客様のビジネス用途にマッチした 各種スパッタリングターゲットの製作が可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プロスタッフ

タングステン・モリブデン製　スパッタリングターゲット

世界最高品質のタングステン･モリブデン スパッタリングターゲット

プランゼーは、最高品質のモリブデン・タングステンコーティング材料であるターゲット製品を、世界中のお客様へ納品しています。 スパッタリングは、真空チャンバー内に充填されたアルゴンガスが、プラズマによりイオン化され、そのアルゴンイオンが電界によって負電圧を加えられたターゲット（カソード）に向かい加速、衝突します。その際の強い運動エ...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー） 基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

装置形態：巻取式マグネトロンスパッタリング装置 基板寸法：最大幅１０００ｍｍまで対応 カソード数：最大４元 膜種：金属・磁性膜・反応性酸化膜 オプション機構： プラズマ前処理機構・イオンガン・ランプヒータ・加熱ロール等...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社