スパッタ | イプロスものづくり

PR弊社の看板商品「耐火・耐熱ホースカバー」の面ファスナー仕様です！

この『ヒートファスナ』は面ファスナー仕様により製品の着脱がとても簡単！お忙しい日々の業務の中でも取り付け・交換にお手間を取らせない超優れものです！また、【即納可能！】【切り売り可能！】同類製品に比べてコストパフォーマンスもバッチリです。製品詳細・特徴は以下をご覧ください！【用途・目的】油圧ホース、ケーブルなどを炎・溶融スプラッシュ・溶接スパッタなどから保護します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東名アーネスト

『ケーブル保護用プロテクトチューブ＆コネクタ』

PR【新カタログ・サンプル進呈】ケーブルへの曲げ・折れ・引っ張りに強く断線…

『プロテクトチューブ』は、曲げ・折れ・引っ張りに強く、光ファイバーコード・電線を損傷や断線から保護するステンレス製フレキシブルチューブ。可動使用によるコード引出し部からの抜けや、引っ張り動作、スパッタや切粉が原因で起こる炎上、溶解被害の防止にも有効です。柔軟性タイプをはじめ、引張強タイプや曲げ固定タイプなど、用途に合わせた製品をラインアップ！またコネクタもケーブルの種類...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アスト

マグネトロンスパッタコーター　SC-701MC

イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用フルオートマチック…

軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター【特徴】 ○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 ○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献 ○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート ○電極...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

8インチスパッタコーター　SC-708シリーズ

大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4～8インチ…

QUICK COATER SC-708シリーズは、SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として、また、一度に多くのサンプルの成膜処理を行ないたい場合に最適なスパッタコーターです。【特徴】〇サンプルサイズや数量に応じて、4、5、6、7、8と1インチ単位で選択が可能です。〇コーティングモード/エッチングモード搭載〇スパッタ薄膜作製はもちろん、...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

ロードロック式スパッタリング装置

CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！

『ロードロック式スパッタリング装置』は、ムービングマグネットにも対応し全面エロージョンが可能です。当社独自のスパッタカソードや急速昇降温基板加熱機構を搭載し基板温度900℃を実現。発光分析システム...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

コンパクトな筐体に３元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

成膜装置 スパッタ装置

幅広い実績を誇ります。

本装置は、最大4元のスパッタガンを設置可能な成膜装置です。...

メーカー・取り扱い企業：バキュームプロダクツ株式会社

導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…

独自高密度スパッタ法　アーク放電型マグネトロンスパッタリング法（ＡＤＭＳ法）によりメタル成膜と同等のプロセスで導電性カーボン薄膜を形成。従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。導電特...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

研究開発用スパッタリング装置

高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッ…

特長 ■クリーンなサイドスパッタ方式を採用 ■ロードロック式タイプ、バッチ式タイプの2機種をご用意 ■タッチパネルで簡単な操作・成膜条件管理、メンテナンスも容易な装置コンセプト ■設置スペースを取らないコンパクトな装置 ...

メーカー・取り扱い企業：芝浦メカトロニクス株式会社

簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト…

　　　　１源装備　　　　：基板加熱機構標準装備　　　：排気系　拡散ポンプ＆油回転ポンプ操作系：全手動オプション機構磁性材用カソード　コンベンショナルカソード　ＤＣバイアス逆スパッタ機構　バイアススパッタ機構　基板高温加熱主ポンプ変更（ターボ分子ポンプ採用）全自動化 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

スパッタリング薄膜（フィルム/繊維）　受託加工/受託成膜/開発

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

積水ナノコートの『スパッタリング技術』をご紹介します。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。化学繊維、炭素繊維など、独自の繊維へのスパッタ加工に対応しています。また、最大340...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

ＡｌＮテンプレート作成装置（配向性ＡｌＮ膜用スパッタリング装置）

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を…

ＵＶ－ＬＥＤの製造の低コスト化に必要なサファイア基板へのＡｌＮテンプレートをスパッタで作成。１００arc／ｓｅｃ以下のＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜を低温（７００℃以下）でスパッタリングで形成。シンプルかつ安定したプロセスとハイスループット性でＵＶ－ＬＥＤの低コスト化に貢献。サ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

多元スパッタリング装置

基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布…

『多元スパッタリング装置』は、最大4台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です。 CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能。また、基板ステージに...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置

省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！

当製品は、当社が得意とするスパッタリング技術を応用し様々な3次元形状の金属、セラミック、樹脂製品に成膜する装置です。化粧品、電子部品、電池部品、高機能材料開発といった用途に使用可能です。このほかにも、小型化/大型化...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』をご紹介します。超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装置を連結。他に、MEBチャンバーとXPS表面分析装置を連結したシステムや MBE室と酸化処理室、STM分析室を連結したシステムがあります。【ラインアップ】 ...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

移動ロードロックシステム『CEX-2420』

スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへ…

『CEX-2420』は、コンビナトリアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コメット

多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

0W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー）基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコー...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2）・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省ス...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【技術資料無料贈呈！】粉体スパッタリングとは

表面改質から触媒利用まで！成膜事例付きで密着性が高い粉体スパッタ技術を…

当資料は、エイ・エス・ディ株式会社の取り扱う『粉体スパッタ技術』についてご紹介しています。「粉体コーティングにおけるめっき(湿式)とスパッタ(乾式)の比較について」や、「成膜事例(光学顕微鏡観察像)」「粉体スパッタリング装置外観図」などを...

メーカー・取り扱い企業：エイ・エス・ディ株式会社技術研究所

多層膜スパッタリング装置『S600』

ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ…

『S600』は、多層・積層成膜プロセスの改善により電子部品の品質強化と生産性向上に貢献する多層膜スパッタリング装置です。高品質・高精度な成膜によりデバイス品質の向上。高スループット、生産歩留り向上、材料利用効率の最適化によりコスト競争力をアップします。多様な成膜条件に対応したオプ...

メーカー・取り扱い企業：パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。次世代デバイス...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など真空成膜装置を多数ラインアップ。その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

【抗ウイルス対策】～成膜加工～

金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制！繊維へのスパッタ加工が可能

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制し、抗ウイルス対策などに好適。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富です。また、最大34...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

【抗菌対策】～成膜加工～

各種抗菌/抗ウイルス加工、抗カビなど！繊維・フィルムへのスパッタ加工

積水ナノコートの『スパッタリング加工』をご紹介します。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制することができます。また、最大3400mm幅まで...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

小型研究用　イオンビームスパッタリング装置

イオンソースを搭載した実験用装置　精密光学の超薄膜多層成膜に活用可能

OSIの「イオンビームスパッタリング装置」は、お客坂の使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置です。Veeco社の SPECTOR 相等の能力を発揮します。 RFイオンソースをスパッタ用およびス...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロー…

精密レンズ金型のコーティングに必要な耐熱性の高い耐摩耗膜のに形成に最適。レンズ金型のコーティングに適したＰｔやＲｕなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。精密レンズ金型のような基板を高速に加熱できる特殊基板台と専用ロードロック機構でスループット向上を実...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

薄膜作成コンポーネント

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをライ…

当社の取り扱う『薄膜作成コンポーネント』をご紹介します。世界最小クラスのUHV対応「マグネトロンスパッタカソード」をはじめ、 ICF70よりマウント可能な「EBガン」やルツボ最小2cc～100cc対応の「Kセル」などをラインアップ。また、有機・金属材料対応の「マルチ抵抗加熱ソース」や「...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

【成膜加工】静電対策/静電防止にお困りの方必見！

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。化学繊維、炭素繊維など、繊維へのスパッタ加工に対応しています。また、最大3400mm...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

チパネルによる操作性向上、ロギングシステムによるデータ管理が容易。【各種　選択機能】 ●カソード変更（大型カソード化、4インチカソード多元化） ●高温加熱機構（800℃） ●バイアススパッタ機構【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【抗カビ対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！防カビ対策としても有効なスパッタリング…

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。各種抗菌/抗ウイルス加工にも対応しております。また、試作機～RtR量産機といったスパ...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

【静電気対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！電磁波シールド、帯電防止、面状発熱体な…

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング加工』をご紹介します。・不織布・フィルター・繊維などにも対応。また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

【遮熱対策】～成膜加工～

基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス！遮熱・保温効果を発揮

積水ナノコートの『スパッタリング加工』をご紹介します。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。光の反射、吸収、干渉などの光学調整により、遮熱・保温効果を発揮ます。また、最大340...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

ロードロック方式スパッタリング装置「SPH-2500-II」

膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。

昭和真空は、約15年の実績を誇るベストセラー装置SPH-2500のフルモデルチェンジを行いました。ロードロック方式スパッタリング装置「SPH-2500-II」は、従来装置の特徴を受け継ぎつつ最新のテクノロジーを採用し、あらゆる面で従来機を超える性能を達成致しました。【特徴】 ○外形：W1200×D2500...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

バイアススパッタリング装置『SPR-014-B』

良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置！

『SPR-014-B』は、基板側にバイアスを印加しながら スパッタリングを行い、絶縁層用の成膜が可能なロードロック式バイアススパッタリング装置です。ピンホール密度が低く、良好なステップカバレージ性を備えた良好な絶縁膜形成ができます。【特長...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本シード研究所

粉体スパッタリング装置

お客様ご依頼サンプルによる受託成膜、立会実験にも対応いたします！

『粉体スパッタリング装置』とは、直径数μmまでの粉の表面に真空・プラズマを使って薄膜をコーティングする装置です。バレルスイング動作を基本とした攪拌機構を有し、 RFまたはDCスパッタ法による成膜が...

メーカー・取り扱い企業：エイ・エス・ディ株式会社技術研究所

RAM インライン型スパッタリング成膜装置

パイロットラインから量産ラインへが展開が可能な装置です。

RAMカソード（4面対向式低ダメージスパッタリングカソード）及び強磁場プレーナーカソードを搭載したデポジションアップ式水平インライン型スパッタ装置です。下地層にダメージを与えないよう、初期層はRAMカソードで低ダメージスパッタ成...

メーカー・取り扱い企業：京浜ラムテック株式会社

後酸化式スパッタリング装置

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

特長 ■後酸化方式の採用で高生産性を実現 ■優れた膜厚均一性±１％以下を実現 ■水平基板搬送による全面スパッタが可能...

メーカー・取り扱い企業：芝浦メカトロニクス株式会社

多種金属対応　プログラマブルスパッタコーター

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…

Iは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。【特徴】〇プログラマブルスパッタコーター〇フルオート/マニュアルの2タイプの操作〇シャッター標準装備...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置構成モジュール】 ◉ 製作範囲抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー・026（26Litter）-TE/LTE/SP/CVD/Etch/*Globe Box option：...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電...

メーカー・取り扱い企業：メンテナンス･リサーチ株式会社

『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…

『圧電膜形成スパッタリング装置』は、単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することが可能な製品です。プラズマエミッションモニターによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリア...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co

FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向…

このシステムには3つのスパッタリングソースとプレクリーニングエッチャーがすべて共焦点形状に配置されており、生産性を高めるためにロードロックならびに搬送チャンバを追加することも可能です。スパッタリングソースには直径100mmの...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

搬送室を中心としたクラスター型スパッタリング装置。基板搬送もベア及びトレイ（サセプター）も標準対応。矩形・小径・不定形多くの基板に積極対応。最大8インチ及び8インチ相当の矩形基板に対応。6角形タイプと4角形タイプの２機種を...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

小型スパッタリング装置

コンパクト設計で省スペースを実現！大学や民間の研究室に最適なスパッタリ…

韓国 A-tech社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。物性研究や製品QCおよびQA、半導体の故障解析などに最適です。 ■詳細はカタログダウンロードより■ ●御問合せ：03-5472-1722 (TEL)...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

FHR.Roll.1600-FCCLスパッタリング装置

FCCL（フレキシブル銅張積層板）製造用高スループットロール to ロ…

FCCL（フレキシブル銅張積層板）製造用高スループットロール to ロール型スパッタリング装置です。特徴１．装置構成の自由度が高い２．高い温度安定性３．適正なシード層形成４．オプションでクロームフリーの接着層が可能５．高剥離強度を実現詳しくはお問合...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーするシンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種のプロセス性能を維持した上で、大きなコス...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店