中量機用二流体ノズル 　※2024年3月導入済！

PR300種類超の製造実績！1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…

ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5～20μmの微粒子造粒粉をつくる 中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を 導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、 またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、 中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...

メーカー・取り扱い企業： 日華化成有限会社

金属基セラミクス複合材料『AC-Alsic』

アルミニウムと比べてヤング率 1.8 倍の高剛性、熱膨張を 2/3 に…

『AC-Alsic(アルシック)』は、高強度・高熱伝導が求められる、 ハイパワー半導体用のヒートスプレッダ、基板などに適した 金属基セラミクス複合材料です。 また、SiC プリフォームにシースヒーター埋設パターンを掘り シースヒータを埋設し溶湯アルミで一体化した、均熱性が良く 低熱膨張率かつ高温変形の少ないヒーター部材として...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所　

圧電セラミック素子/アクチュエータの劣化・破壊メカニズム寿命評価

★メカニズムを理解することで疲労・破壊を防ぐ! ★信頼性を高めるため…

【講演主旨】 大学で40年間研究してきた圧電セラミクスの開発研究,プロセス,応用化に関する全てを熟知した講師が圧電セラミクスの劣化と破壊のメカニズムから寿命時間の評価法を解りやすく講演する.実験結果をもとに説明するので簡潔で理解し易い内容である. ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

有限会社カネモト精工　設備紹介

最大サイズ1000mm×1100mmまでスライス致します！

○大型ワイヤーソー2号機 →1000mmクラス石英マスク及び角槽材料切断 →H1000×W1100×L350 ○大型ワイヤーソー1号機 →12～18インチシリコン、角槽及びマスク用石英、セラミクス系材料切断 →H650×W550×L400 ○900型マルチブレードソー →12インチシリコン材料、φ300～400mmの石英及びセラミクス系材料のスライス →H400×W400×L40...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社カネモト精工

【バックアップ断熱システム】ガラス・セラミックス

エネルギーと業務を最大限に効率化！温度管理の高精度化やアプリケーション…

容器用のガラスやセラミクス、フロート製法のガラスやセラミクスの製造に 長い歴史を持つ当社の超薄型軽量のバックアップ断熱ソリューションは、 温度管理の高精度化やアプリケーション設計の最適化を実現します。 カスタム...

メーカー・取り扱い企業： プロマット・ジャパン株式会社

セラミクス半導体研削機 UF-033

使い勝手の良さが魅力です。

次元研削法」に依る高能率な加工と油圧ワーククランプ他に依る使い勝手の良さを特徴としており、端面基準の心出しを前提にするため、従来機に比べワーク軸周りを強化しております。炭化珪素などの半導体、各種セラミクスなどの加工にも力を発揮します。OF加工オプションを追加すると、外周、OF加工を１台で行うことも出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： マシンクラフト株式会社

超音波ハンダ付け装置　ハンダッチャブル【工数削減、腐食を防ぐ】

驚きの低価格を実現！ガラス・セラミクス等の異素材にハンダ付けができます…

ハンダッチャブルは、超音波を用いてガラス・セラミクス等にはんだ付けすることができる装置です。 太陽電池のリード出し、アルミニウム線の半田付け、超電導体・熱電素子のリード出し、ディスプレイの電極付けなどに最適です。 ＜特長＞ ・ガラスやセ...

メーカー・取り扱い企業： 栄信工業株式会社

セラミクス複合素材への表面処理

新技術開発体制を構築！先端技術イノベーションセンターを増設いたしました…

当社では、セラミクス複合素材への表面処理を行っています。 先端のめっき技術の研究と開発を可能とするため、めっき工場とは別に 先端技術イノベーションセンターを増設。 新しい分析装置と開発先任者による新技...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社九州電化

高温用超音波プローブ（探触子）

使用温度500℃まで対応可能なプローブをご用意しています。

同軸ケーブルも耐熱性があり、高温雰囲気で長時間使用が可能。 ・耐熱仕様 300℃仕様　同軸ケーブル（絶縁層にポリイミド系樹脂を使用しフレキシビリティあり）500℃仕様　同軸ケーブル（絶縁層にセラミクス網を用いて信頼性高）その他仕様につきましては、個別にお問合せください。また、弊社は特注プローブを多く手がけておりますので、お客様のニーズに合わせて試作開発致します。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンプローブ株式会社

MICミック　内径の特殊サイズ加工

フェルール、キャピラリー、ノズル等の内径の特殊サイズ加工を小ロットから…

フェルール、キャピラリー、ノズル等の内径の特殊サイズ加工を小ロットから受けてきております。光通信機器用のガラス　セラミクス等の微細な切断もやっております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社エム・アイ・シー・ミック

高出力 ハイブリッド ピコ秒レーザー

高出力グリーンレーザー、UVレーザーでの高速加工が可能。材料の切断や穴…

〇高出力ハイブリットピコ秒レーザー 平均出力≧ 25 W（ 532 nm )、≧16W ( 355 nm)、　≧8W ( 266 nm ) 〇高い信頼性 自社開発・自社生産の国産ピコ秒レーザー 〇高い柔軟性 繰り返し周波数カスタマイズ可能、パルススプリットモードでは低い繰り返し周波数での動作が可能で、マルチパルスモードでは細分化したパルス列での動作が可能。パルス設定の変更により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

燃料中の低濃度硫黄/塩素分析専用エネルギー分散型蛍光X線分析装置

卓上型蛍光X線分析装置に低濃度・硫黄/塩素分析分析専用タイプが加わりま…

燃料中の低濃度硫黄/塩素分析専用　エネルギー分散型蛍光X線分析装置 ISO13032準拠　Epsilon 1 (イプシロン ワン) 仕様 管球：セラミクス絶縁X線管球（硫黄・塩素分析に特化したアノード搭載） 出力：10W (最大 50 kV、 1.0 mA) 検出器：高感度シリコンドリフト検出器SDD10 測定元素範囲：Na-Am 外部寸...

メーカー・取り扱い企業： スペクトリス株式会社 マルバーン・パナリティカル事業部

『溶射・肉盛などの表面処理用粉末』＜選定ガイド進呈中＞

環境遮断、耐摩耗を目的とした各種金属、セラミクス、複合粉末を幅広く製造…

当社は、溶射・肉盛などに使用する『表面処理用粉末』を製造しています。 高速フレーム溶射、プラズマ溶射、サスペンション溶射、コールドスプレー、 プラズマ粉体肉盛、レーザークラッディングなど、各種処理に対応。 金属のほか、サーメットをはじめとしたセラミック複合材など種類も豊富で 航空宇宙、エネルギー、石油化学、自動車、建機・農機、 鉱山、鉄鋼、製紙、印刷、樹脂・フィルム、半導体といっ...

メーカー・取り扱い企業： ヘガネスジャパン株式会社

ドイツ　ＫＯＢＡ社　高精度ステップゲージ　コバステップ

世界各国で基準器として使用されています、コバステップ

に使用する、世界標準のステップゲージ、コバステップ 斜めにセットアップが出来るスタンドと、ホルダーを使用して、空間精度を検証する事が可能です。（２次元測定を積み重ねて３次元に反映させます） セラミクス製コンタクトポイントを使用して高耐摩耗性を確保、低熱膨張材を使用していたり、使い勝手を考えた設計になっています。 各国の計量研究所でも使用されている、高信頼性を持った、ステップゲージです...

メーカー・取り扱い企業： 環境エネルギー株式会社

ピッチ系CFRP 半導体製造装置用途例紹介

半導体製造装置の性能アップに貢献！CFRPにより軽量化、振動減衰性向上…

張の設計も可能です。 当社はピッチ系炭素繊維を製造するメーカーとして材料の特長を活かした 適切なCFRP設計提案が可能です。 【特長】 ・40～60％の軽量化が可能（対アルミ、対セラミクス） ・振動減衰が速いためタクトタイムの短縮が可能 ・熱膨張率を限りなくゼロにできる ・熱による寸法変化を抑えたい部品に使用できる ・熱伝導率が高いため除熱され着火しない ・除熱用途で使...

メーカー・取り扱い企業： 三菱ケミカル株式会社 コンポジットプロダクツ事業部

レーザー微細加工システム　microSTRUCTシリーズ

レーザーは2台まで搭載でき、最適なマイクロマシニングを実現します。研究…

vario(TM)は、3ビームラインを装備することができます。psレーザーをはじめとして、フェムト秒レーザーやファイバーレーザーなど応用に最適な様々なレーザー光源を選択できます。加工材料が樹脂、セラミクス、金属などさまざまであっても、切断や穴あけ、パターニングなど複数の加工が必要であっても、この装置 microSTRUCT vario が1台で仕事をこなすことができます。 加工機序が一定な場合...

メーカー・取り扱い企業： 光株式会社

多結晶ダイヤ潤滑液一体型研磨剤『Gel2+ Poly』

硬い材料との相性が良好！切削性が高い多結晶ダイヤ潤滑液一体型研磨剤のご…

『Gel2+ Poly』は、硬い材料と相性が良い多結晶ダイヤ潤滑液一体型 研磨剤です。 多結晶ダイヤ推奨研磨材料は、鉄、SUS 、セラミクス。 使用する人によっての使用量の差を軽減してくれますので、再現性の向上に お繋ぎいただけます。 この他にも当社では、価格的なメリットをご希望の方にお勧めな、 単結晶ダイヤ潤滑液一体型...

メーカー・取り扱い企業： 北川グレステック株式会社 本社

油性多結晶ダイヤモンド研磨剤『ADS Poly』

鋳鉄の研磨で使用！水0％のアルコールベースダイヤモンドサスペンションの…

y』は、水に弱い素材や腐食性の高い材料の研磨に 適している油性多結晶ダイヤモンド研磨剤です。 水0％のアルコールベースで、鋳鉄の研磨で使用。 多結晶ダイヤ推奨研磨材料は、鉄、SUS 、セラミクスです。 この他にも当社では、油性単結晶ダイヤモンド研磨剤の「ADS Mono」や 「ADS用 潤滑液」もご用意しております。 【ADS Poly　ラインアップ】 ■油性多結晶ダイ...

メーカー・取り扱い企業： 北川グレステック株式会社 本社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

エポキシ樹脂『IP』

硬化後の色は透明！多孔質素材や金属等の硬い材料に適正なエポキシ樹脂のご…

【仕様】 ■硬化温度：30℃ ■適正材料：多孔質素材(セラミクス等)、金属等の硬い材料 ■硬化時間：8-10時間(50℃で3時間) ■硬度：83 Shore D ■硬化後の色：透明 ■薬品配合割合 ・主剤「10」：硬化剤「1」 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： 北川グレステック株式会社 本社

3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

S232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着 ○チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ウォータージェット加工サービス

超高圧水で、あらゆる素材を切断いたします

【ウォータージェット切断加工実績】 ■各種金属　鉄・ステンレス等 ■非鉄金属　その他金属・新素材等 ■各種樹脂　カーボン・セラミクス等 ■各種ガラス　タイル・鏡・石材・エアロゲル等 ■各種ゴム　スポンジ・木材等 ■各種複合材　既製品切断等 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社辰巳鍜工

水性ダイヤモンド研磨剤『Reflex LDP/LDM』

研磨時間の短縮に！水溶性の多結晶・単結晶研磨剤シリーズのご紹介

なメリットを ご希望の方にお勧めです。 【Reflex LDP 特長】 ■多結晶ダイヤ ■切削性が高い ■研磨時間の短縮に ■硬い材料と相性が良い ■推奨研磨材料：鉄、SUS、セラミクス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 北川グレステック株式会社 本社

環境保全対策「環境分析」

水質、大気の調査分析！騒音・振動調査、悪臭、土壌分析等を実施

【保有技術】 ○異物分析、製品・部品等の不良解析(金属・半導体・セラミクス・樹脂 等) ○発生ガス分析 ○におい分析 ○形態観察 ○材質調査、表面分析等の分析 ○材料の物性評価 ○自動車内装材の評価試験 ○燃焼性試験 ○信頼性試験 ○ガラス霞試験 ...

メーカー・取り扱い企業： 湖西テストラボ合同会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

32C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○2相パルスモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

【STRAX】ダイヤモンド/CBNホイール『BVKシリーズ』

切れ味を維持しながら高切込を持続！重研削加工用のダイヤモンド/CBNホ…

【ラインアップ】 ■BVK-W：超硬合金（微粒・超微粒）、セラミクス（脆性材料）の重研削加工用 ■BVK-WS：超硬合金と焼入鋼の同時重研削加工用 ■BVK-S：焼入鋼の重研削加工用 ■BVK-M：鏡面研削加工用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐製作所

3/25【セミナー】　機械設計における材料選定と熱処理の基礎講座

製品開発・設計における最重要ポイントである材料選定。材料の機械的性質・…

と破壊 ＩＩＩ）材料の種類と用途 １．材料の分類 ２．鉄鋼材料 ３．その他の材料 　a．非鉄金属（アルミニウム，マグネシウム，銅など） 　b．高分子材料（プラスチック） 　c．セラミクス ＩＶ）鉄鋼材料の熱処理 １．熱処理とは ２．Fe-C状態図の読み方 ３．微視組織の変化と性質 ４．熱処理技術総論 　a．一般熱処理 　b．表面強化熱処理 （注）問題演習...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本テクノセンター

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

ルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

「分析コンサルティング」

原因調査から問題解決まで！適切な分析・試験・評価について提案・実施しま…

【保有技術】 ○異物分析、製品・部品等の不良解析(金属・半導体・セラミクス・樹脂 等) ○発生ガス分析 ○におい分析 ○形態観察 ○材質調査、表面分析等の分析 ○材料の物性評価 ○自動車内装材の評価試験 ○燃焼性試験 ○信頼性試験 ○ガラス霞試験 ...

メーカー・取り扱い企業： 湖西テストラボ合同会社

揮発性有機溶剤(VOC分析)、各種におい試験

揮発性有機溶剤、各種におい試験に対応！分析試験を通してサポートします

【主な保有技術】 ○異物分析、製品・部品等の不良解析(金属・半導体・セラミクス・樹脂 等) ○発生ガス分析 ○におい分析 ○形態観察 ○材質調査、表面分析等の分析 ○材料の物性評価 ○自動車内装材の評価試験 ○燃焼性試験 ○信頼性試験 ○ガラス霞試験 ...

メーカー・取り扱い企業： 湖西テストラボ合同会社

「信頼性試験」

観察・分析など！冷熱衝撃試験等の信頼性評価を実施します

【保有技術】 ○異物分析、製品・部品等の不良解析(金属・半導体・セラミクス・樹脂 等) ○発生ガス分析 ○におい分析 ○形態観察 ○材質調査、表面分析等の分析 ○材料の物性評価 ○自動車内装材の評価試験 ○燃焼性試験 ○信頼性試験 ○ガラス霞試験 ...

メーカー・取り扱い企業： 湖西テストラボ合同会社

「異物の成分分析・不良解析」

異物の成分分析・不良解析！異物混入の原因を究明しサポート

【保有技術】 ○異物分析、製品・部品等の不良解析(金属・半導体・セラミクス・樹脂 等) ○発生ガス分析 ○におい分析 ○形態観察 ○材質調査、表面分析等の分析 ○材料の物性評価 ○自動車内装材の評価試験 ○燃焼性試験 ○信頼性試験 ○ガラス霞試験 ...

メーカー・取り扱い企業： 湖西テストラボ合同会社

半導体用ロボット　SCR3100S-PM

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100S…

I/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくは、お問い合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

極小径芯取り加工機

φ0.35mm～の加工実績有り。 内視鏡レンズ、その他電子デバイスな…

ボディ剛性、精密クランプなど地味に磨き上げてきたシンプルな機構で極小径の加工が可能です。 内視鏡レンズ、カバーガラス、セラミクス、水晶製品などに対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業： キューブレイン株式会社

複雑形状の金属部品等の欠陥を検出するAI外観検査

良品ワークだけで金属部品等の不具合をAIが自動検出！目視検査しか不可能…

の複雑な形のワークに適し、検査工数の削減や品質均一化を実現します。 ■対象ワーク 小型の自動車部品、ダイカスト、金属工作・加工、プレス加工、メッキ、軸受、繊維、ゴム、樹脂、プラスチック、セラミクス等 ■特徴 1. 360度検査 6軸ロボットアーム・点灯型リング照明・回転昇降台が連動で、撮像が難しい箇所の不具合を検出 2. 少量・良品・高速学習のAI HACARUS独自の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＨＡＣＡＲＵＳ

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

ラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STCR4000Sシリーズ

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　MCR3000Cシリーズ

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○チャックには各種センサ取付可能 →アライメント、有無、マッピング等 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　FTVHR4000

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ハンド部には各種センサ取付可能 →アライメント、有無、マッピング等 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3000CSシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3100S-PMシリーズ

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル