OGP マルチセンサー三次元測定機　スマートスコープシリーズ

PR画像処理・接触式・レーザーの3つの測定センサーで、「多用途」にして「高…

・多様なアプリケーションに対応する複数センサの併用と選択 ・測定スピードと繰り返し精度を向上 ・20機種以上の豊富なラインナップ 創立75年以上に渡り、非接触三次元測定機を全世界市場に提供してきた米国ＯＧＰのベストセラー機です。 プログラム作成はマウス操作中心のため、初心者でも直感的に操作をすることができます。 画像測定をベースとして、接触式測定（タッチプローブ）、レーザー測...

メーカー・取り扱い企業： ＹＫＴ株式会社

ウェブガイドコントローラー（蛇行修正装置）

PR低価格・高精度・ハイスピードを誇るウェブ（シート）の蛇行修正装置。バッ…

ファイフ・ウェブガイドシステムは最新のセンサー技術を駆使して、様々なウェブ（シート）を高精度にガイドします。 　・不透明あるいは透明な材質のガイドに適する光透過型センサー 　・ライン、断続するラインあるいは連続したパターンのガイドに適する光反射型センサー 　・特殊な材質のガイドに好適な超音波センサー 　・塵埃の発生の多い環境に好適なエアー式センサー 【特徴】 ・メンテナンス・フリー...

メーカー・取り扱い企業： マクセスジャパン株式会社（旧ファイフジャパン株式会社）

水漏れをセンサーと検知器で確実に把握『3M漏水検知システム』

データセンター、病院、マンション、半導体等の製造現場などの装置内や配管…

3M漏水検知システムはセンサー電極間の抵抗を検出する方式を採用しています。判断制御を行う「検知器」と液体を検知する「センサー」を用途に合わせて組み合わせいただけます。 ※詳細はカタログPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業： スリーエム ジャパン株式会社

エナパック圧力トランスデューサー

高精度±0.2％R.C.。

センサー部は切削加工によるダイアフラム一体構造のため頑丈、長寿命です。...

メーカー・取り扱い企業： エナパック株式会社 本社　営業部

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

【カスタマイズ可な機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム（有機用） ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

BS-04 series ロータリーセンサー

長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効

日本電子株式会社 水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択して組み合わせることができます。 〇特長 ・検出孔が定位置 ・晶振動子（クリスタル）が6枚または12枚装着...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

エレクトロニクス･半導体業界向け硬さ･弾性率･粘弾性評価

セミコンダクタ・スマートフォンなどの研究開発のためのナノインデンテーシ…

アクティブトップリファレンス(特許取得済みの設計) リファレンスは着脱可能で、ボールやピンなど様々な形態が可能。リファレンス軸のピエゾアクチュエータと荷重センサーによって、サンプルへの荷重を微調整(サーボループ)。 -熱膨張のない設計 - ヘッドには非膨張ガラスセラミックス材を使用し、電子回路システムの熱ドリフトは1 ppm/°C以下。 - 大理石台...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

カソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾-7Pa） ■真空計設置...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

超高温（300℃）対応圧力センサー

測定媒体温度が-10℃から最高300℃まで対応

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。特徴として、測定媒体温度が-10℃から最高300℃（環境温度：-10〜250℃）まで対応しております。ボディへはSUS316L材を採用し接ガス（液）部へは電解研磨処理を施しております。また、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

PSD位置認識装置　ＰＳＤセンサー

半導体位置検出素子といい、スポット状の光の位置を検出できる光センサーで…

ＰＳＤセンサーは非常にシンプルな動作によるものですから、応答性が非常に速く、信頼性の高い位置認識ができるものです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社豊中研究所

腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイ圧力センサー

腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズ

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐蝕性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

防水IPX7　超薄型　低床台はかりロードセル　WLP

超薄型、IPX7の防水設計　ステンレス製　厳しい環境下での使用も。　基…

＜特徴＞ ■防水設計　保護等級IPX7 　今まで設置困難な環境下の現場でも導入が可能に ■載せ台ステンレスSUS304製　 ■薄型　高さ28mm～ ■基礎工事不要、スロープ不要で既存設備に導入可能 　既存装置にも組み込みが簡単 ■揺れがなく安定、性能抜群 ＜事例＞ ■液化ガス、薬液の重量管理（使用量、残量、混合・調合制御） ■食品・飲料の調合等の制御（タンク、ホッパー） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

デジタル指示計「デジタルストレンゲージメータA5000-17」

ロードセルに接続して重量をデジタルで表示します。

ストレンゲージとは、物体のひずみ測定を利用して荷重測定を行う方法です。 この指示計はロードセルに接続して計測結果を表示させます。 【特長】 ■ディスプレイ2タイプ（マルチ、シングル） ■出力ボード7タイプ ■マザーボード（電源部）は2タイプ ※詳しくはお問合せ、もしくはカタログとダウンロードしてご覧ください。...※詳しくはお問合せ、もしくはカタログとダウンロードしてご覧くださ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

高精度圧力センサー

±0.25%の高精度圧力センサー

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-302シリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温タイプも選択可能なフルスケールで±0.25%の高精度圧力センサーです。デジタルパネルメータ（表示器）としては、PC-302シリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

水素センサー、濃度計測、溶存水素、水素燃料

用例；EVバッテリー開発（発生水素をオンライで計測）水素ジェット・ター…

、インライン用、OEM向け、水素検知、水素濃度計測、水素ガス分析、水素ジェット燃料BTU計測、水素ガスタービン混合比オンライン計測、FCV排気管内水素計測、水素発生装置、FC燃料電池性能評価装置、センサー自体が水素限定、誤信号ゼロ、防爆、IP64, IP68, 変圧器、新幹線用ー変圧器、支柱変圧器、DGA, 絶縁油保安、呼吸ガス、ドライキャスタク、使用済み核燃料保管所、水素ステーション、水素フォー...

メーカー・取り扱い企業： TRANS-PAC SALES CORP

半導体産業向け光電センサーの世界市場シェア2024

半導体産業向け光電センサーの世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケ…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界の半導体産業向け光電センサーの供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国における半導体産業向け光電センサーの販売量と販売収益を調査しています。同時に、半導体産業向け...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

PTFE層センサー産業の世界市場調査報告書2024

PTFE層センサーの世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケーション…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界のPTFE層センサーの供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国におけるPTFE層センサーの販売量と販売収益を調査しています。同時に、PTFE層センサーの世...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

ローコスト高精度圧力センサー

コンパクトな構造・高精度にして低価格

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-920シリーズはコンパクトな構造・高精度にして低価格を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

300mmウェハ対応バンプテスター CondorSigmaW12

最大300mm（12インチ）ウェハ上のバンプのシェア、ツィーザープルテ…

最大300mmのウェハバンプのシェアテスト、ツィーザープルテストに最適な多機能ボンドテスター。回転式測定ヘッドにより、センサー（ロードセル）の作業者による付け替え不要。最高50mm/secのステージ移動速度により広範囲のバンプを短時間で測定。回転式シェアセンサーによりウェハの回転が不要。パターン認識対応の自動測定プログラ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

集積化ガスシステム対応圧力センサー

各種集積化ガスシステム用圧力センサー

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製 高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

【特集】さらに小さく、さらに高精度に

新しい世代のセンサー製造のためのソリューションを開発！ より賢く、よ…

私たちは、スマートフォン、自動車、手首のフィットネストラッカー、 スマート冷蔵庫、ロボット芝刈機、インテリジェント街路灯などに 搭載された無数のセンサーに日々囲まれています。 世界の大部分は、急速に進化しているセンサー技術で構成されており、 私たちが使うモバイル機器は、より賢く、より直観的に、より高感度に、 より省エネルギーになっていま...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

架台キャスター付き　大型台はかりロードセル　LP-LUS

耐荷重に優れた台はかりロードセル　　架台キャスター付きのため大型容器の…

ホイストによる乗せ降ろし時の衝撃を考慮した設計 保護等級：IP65、IP66、IP67ロードセル 定格荷重(ひょう量）、サイズ、精度のカスタマイズ製品 ご要望の製品をご提案致します。 お問合せ下さい！...◆LP-LUS型ロードセルは、長期の使用にも安定かつ高精度に動作する架台キャスター付きロードセルです。 ◆構造が堅牢で定格を超える衝撃にも耐えうる設計。 ◆電気的出力が比較的に大...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

高性能のまま低価格を実現！『単結晶育成引上工程用ロードセル』

【ＣＺ法単結晶育成装置用】種付けから回転引上げ、インゴット完成まで重量…

単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。 回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。 チョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には独特の荷重センサを用いました。 ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ケミカル用圧力センサー

接液部にテフロンを使用

半導体製造ラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣ-５００シリーズは、接液部にテフロンを使用しており、半導体製造・薬品製造等のラインにおいて超純水から腐蝕性の強い媒体まで安心してお使い頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

アオイ電子「ナノピンセットのご紹介」

マイクロサイズの試料の把持が可能な微小ピンセット「ナノピンセット」につ…

用いて電圧を印加することで 先端が滑らかに開閉し、マイクロサイズの試料の把持が可能です。更に、試料に電界や振動を加える機能を有しています。 製品の基本システムをはじめ、使用例、サンプル例、接触センサー付きナノピンセットの基本システム、接触センサー付きナノピンセットの操作等を、画像付きでわかりやすくご説明しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

Microchip　8Chアナログフロントエンド　MCP3914

多相エネルギー測定と電力監視に使用可能！高精度な電力計測ができるアナロ…

びゲイン誤差構成レジスタ、20MHzのSPI互換高速 シリアルインターフェースを備えています。 高精度な電流計測と電力監視用最終製品を実現可能にし、変流器、 ロゴスキーコイル、ホール効果センサーなど、さまざまな電圧および 電流センサーとのインターフェースが可能です。 下記関連動画では、当製品の新機能をはじめ、基本的な仕様、特長について 説明をしています。また、同ファミリである「...

メーカー・取り扱い企業： グローバル電子株式会社

台はかり活用事例

はかりの高さが低いため、既存の基礎の上にそのまま設置しても測定物の乗せ…

半導体製造ラインでの産業ガス残量管理。 色素、接着剤等の残量管理 ベーキングシステムにおける液体材料の残量管理。 フリーローラーを取付けコンベアライン上での計量。 貯蔵タンクから汲み出しの計量。...低床台はかり式ロードセルは高さ25mm～と非常に低い為、現場での作業性が上がります。 又、スロープを付加するだけでキャスター付き大型容器も簡単に計量が出来ます。 ■詳細は、お問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

マスクレス露光装置「MXシリーズ」

半導体製造等の露光工程における、開発/納期の短縮とコスト削減に貢献しま…

半導体製造工程・マイクロセンサー（加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー）製造工程・プリント基板製造工程における露光技術では、フォトマスクを使用し、それを基盤に転写する方式が主流です。 一方、マスクレス露光装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

ブロードモーションセンサ

低周波振動から機械振動までを1つでカバー

傾斜を含むDC成分および振動数0.1Hz ～ 1000Hzまでの加速度0.1gal ～ 6Gを3軸出力するIMVオリジナルセンサーです。...

メーカー・取り扱い企業： ＩＭＶ株式会社

全自動高速板銀ろう付機『EART-2010F』

1サイクル(1刃ろう付)の加工時間を大幅に短縮！ナイロンブラシ回転清掃…

『EART-2010F』は、1サイクル(1刃ろう付)の加工時間を大幅に短縮した 全自動高速板銀ろう付機です。 鋸及びチップの一体型センサー掴み構造。 鋸のスクイ角は、XY移動にて対応します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■1刃ろう付時間約4秒 ■ナイロンブラシ回転清掃ユニット完備 ■鋸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ

レジスト剥離洗浄装置　※テスト可能機種あり

循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置

・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム ○パトライト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

パトランプから機械の稼働状況チェック『PatLoRa 稼働管理』

パトランプに光センサーを貼るだけで稼働監視！10km程度の距離でも送受…

『パトローラ』は、既存のパトランプに光センサーを取り付けるだけで機械の 稼働状況をリアルタイムに監視します。 さらに、10km程度の距離でも送受信が可能なほか、ソフトウェア機能として、 アンドンでは、パトローラ子機から収集した情報を...

メーカー・取り扱い企業： BM&W株式会社

CT398 温度コントローラー

温度センサー不要、フィードバック機能付DC温度コントローラー

　Mincoの CT398 温度コントローラーは、ヒーターライン(TCR*が高い材料を採用）を温度センサーとして兼用しており定期的に温度をモニタリングします。これにより別途温度センサーを搭載することなくヒーター面の温度を計測できます。設定温度と実測温度を比較し出力パワーが調整されるため温度が制御されま...

メーカー・取り扱い企業： ミンコ・プロダクツ合同会社

【集積/コンパクト化　マニホールドバルブ】 【薬液/純水配管用】

普通のバルブメーカーではありません！フィルターやセンサーなどを組合せた…

プに大幅に貢献できます。 半導体/化学/医薬業界など高純度薬液や純水を使用する業界で長年の実績がございます。 【ゲミュー社カスタマイズバルブの特徴】 ■　フィルター、流量/温度/圧力センサーや逆止弁などを組合わせてユニット化することが可能 ■　CMPスラリーなど粘性が高く複雑な組成の流体に適した流路で設計が可能 ■　プロセスに合わせてPTFE,PVDF,PP,PVC,SUSなど様...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

全自動サンドろう付機『EART-03F』

作業性、経済性にも優れた高性能マシン！ろう付ノウハウを最大限に発揮

ART-03F』は、ろう付ノウハウを最大限に発揮し、ろう付強度とともに 優れた安定性を獲得した全自動サンドろう付機です。 供給機(マテハン)を取付け、24時間稼働を実現。 また、温度センサーにより、ろう付けの安定化をはかれます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■両側加熱方式によりろう付強度の均一化が図られる ■フラックス注入装置により、フラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ

【セルフメンテ】簡単なメンテナンス方法は動画をご参照ください！

機械トラブル、故障、オーバーホールなど！気になることがございましたらお…

【その他のセルフメンテナンス】 ■機械銘板の掲出位置 ■圧力計調整方法 ■FANUCデータシート収納場所 ■ストッパー下端センサー調整方法 ■ATCシリンダーのセンサー位置と調整方法 ■ツールチェンジャー・タレット位置補正方法 ■切削油タンクのエアー噛対処法 ■スピンドルオリエンテーション位置修正方法 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： フジ産業株式会社

マイクロデバイス製造関連装置

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

製造ラインの省力化・自動化に！超小型自動化ふきとりユニット

製造ラインのふきとり作業を省力化！自動化！多軸ロボット、画像認識センサ…

材をご用意しています。 大幅なコスト削減を実現します。 【特長】 ■さまざまな素材、形状の製品を自動的にふきとる ■安価な導入コスト ■多種にわたるふきとりロール素材 ■高感度センサー、画像認識に対応 ■既存設備への後付け導入が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東西商事株式会社

Siウェハ厚み測定器「SIT-200」

シリコン基板の厚みを高感度でリアルタイム測定

Siウェハ厚み測定器は、精密に発振波長を制御された波長可変光源、集光センサー、受光器(PD)から構成されております。 集光センサーからの光を測定サンプルの表面および裏面で反射させ、再び集光センサーを通ってPDで干渉波を発生させてサンプルの厚みを測定致します。 Si...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルネアラボラトリ

圧力トランスミッター

優れた温度特性を有する高精度センサー

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣ-３００シリーズは優れた温度特性を有する高精度センサーで、接ガス（液）部にＳＵＳ３１６Ｌダブルメルト材を採用することにより優れた耐蝕性を有しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

シリコンウェハ用圧力分布測定システム

歩留まりアップを圧力管理からサポート！

◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。 ◆...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社

半導体検査用プローブ 先端材質・先端形状…各種選定可能

測定対象デバイスに合わせプローブ先端材質・表面処理・先端形状等、各種選…

ローブは測定環境に合わせて選定が可能です。 ・弊社独自の合金材料を用い、PBフリーへのコンタクト性を高めたプローブ ・熱の影響による荷重低下を避ける特殊バネを採用した耐熱プローブ ・磁気センサー部品の検査にも使用可能なハイレベルな非磁性材料プローブ ・信号伝送特性を最大限向上した短尺高周波プローブ ユーザ様の様々なご要望にお応えします。 【特長】 ■長年の実績に裏付けられ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社精研 本社

32本のデジタル配線を1本に！【省配線化システム】CUTシリーズ

32本のデジタルI/Oを1本のLANケーブルに！作業工数減による作業効…

CUTシリーズは装置内外の配線を省略可するシステムです。 ・例えばセンサー部分に"CUT-32I"を使用し、コントローラ部分に"CUT-32O"を使用すれば32本のセンサーからの入力の配線を省略することができます。 その間はLANケーブル1本で最大100m～300m(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケイティーエス

ヒューズテクノネット　透明導電膜加湿ユニット

H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装…

【特徴】 ○タンク制御温度・・・・・・・・60～65℃（センサーPT100Ω） ○配管制御温度・・・・・・・・・70～75℃（センサーPT100Ω） ○タンク・配管温度異常・・・・110℃（センサーサーモスイッチ） ○Ｈ2Ｏタンク水位検知用に、H・Mレベ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット

【事例】ピックアップのダメージを軽減するには？

マイクロクラックなどのダメージ不良改善！ピックアップツールならお任せく…

当社が提案した、 センサーチップの移載工程での不良改善事例をご紹介します。 インジウムリン、ガリウムヒ素のセンサーチップを検査ステージへ移載する 工程で、クラック、マイクロクラックによる不良が発生していました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

と6インチ□までの矩形基板に対応したフレキシブル対応が特徴。小径ウェハや不定形基板には専用搬送トレイで基板搬送や成膜が可能。 メタル成膜においてはウェハプロセスの配線・電極膜・薄膜磁気デバイスのセンサー膜・保護膜などに加えMEMSセンサーの圧電膜などR&Dを含め量産までを細やかにサポートいたします。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店