ノズル | イプロスものづくり

PR従来の微細穴加工の工法とは異なる　セムテックエンジニアリング　独自の技…

従来のエッチング、レーザー、ドリル、フライス、放電加工では行えない、精度の高い微細な穴加工が行えます。弊社のスーパーマイクロシーブはエレクトロフォーミング技術による加工により生成されています。『穴径　5μm～30μm以上の加工』　製造過程で混在する粗粒子を個数レベルで完全に除去できます。『最小ピッチ　穴径＋10μmの狭さ』　一枚面積における穴数が多いため高効率の分級が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社セムテックエンジニアリング

中量機用二流体ノズル　※2024年3月導入済！

PR300種類超の製造実績！1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…

ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5～20μmの微粒子造粒粉をつくる中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...

メーカー・取り扱い企業：日華化成有限会社

超精密コーティングダイ・ノズル・周辺装置

FPD・半導体・光学・電子部品材料等多用途のコーティングダイ・ノズル及び周辺装置を高精度製品に不可欠な熱処理〜加工〜超精密鏡面研削仕上げまで全て自社工場にて行い高精度、低コスト、短納期にてお客様のご要求通りの精度で製作させていただきます。素材は磁性、非磁性問わ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社江新エンジニアリング

超精密液体噴霧システム

最大100,000CPSの液体に対応！シリンジ、カテーテル等、様々な製…

『超精密液体噴霧システム』は、エアーを使用し、細かく均一に液体の噴霧が可能です。高精度＆高耐久性で、最大100,000CPSの液体に対応。高粘度液体にはオプションで、ノズルへのヒーター取付けが可能です。また、SUS316製標準ビームスプレー(円錐形パターン)ノズル又はロングノズルをご用意しており、液体の液質や噴霧量に適した ノズル径をご提案します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アキュレックス本社、大阪営業所

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

【主な仕様例】 ■カセットステージ：1組 ■スピン塗布ユニット：1組 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6"、□4インチも可 ■レジスト滴下ノズル：1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：2組 ■センタリングユニット...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。低粘度～高粘度レジス…

【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：1組 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

【半導体製造装置関連】ミニマルスプレーコーター

レジストをスプレーノズルで塗布する装置。つくば産総研・ミニマルファ…

パルスモータ軸数：3軸ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ塗布材料供給用シリンジ塗布用ホットプレート：最大100℃ ベーク用ホットプレート：最大150℃ 気体制御：スプレーノズル用ウェハ裏面回り込み用 ノズル乾燥防止...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ライズワン

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

a・s 塗工可能膜厚： 1～500μm 塗工速度： 5～50mm/sec 膜厚精度： ±3%以内【精密スプレー塗布装置】・装置仕様最大塗工サイズ： 10mm□～G5サイズ ノズルタイプ：回転霧化ノズル・低圧霧化ノズル ノズル回転数：Max55,000rpm ノズル圧力：Max0.5Mpa 塗工可能膜厚： 50nm～100μm 膜厚精度： ±3%以内 ...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

ー：5kgf/cm²以上　φ6mmワンタッチ継ぎ手 →薬液、純水：2kgf/cm²以上　φ6mmスウェージロック →N2：5kgf/cm²以上　φ6mmスウェージロック ○オプション：ブラシノズル関係、薬液温調器、ノズル、消化器等 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

が表示【仕様】 ○外形 W1490×D1100×H1650 ○処理枚数：2枚～8枚 ○使用液：現像液、リンス液、純水 ○回転数：0～1200rpm ○回転テーブル：φ530 ○ノズルアーム：2本　ノズル4個×2本 ○回転数表示：デジタル表示 ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○付属タンク：現像液タンク、攪拌タンク、リンス液タンク ○操作盤：LCDタッチパネル...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組/CUP ■エッジ・バックリンス：各1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

レンタル用小型スリットコーター

実験・開発用スリットコーター・基板サイズ：200mm□ ・レンタ…

徴】・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター・テーブル駆動：リニアモーター【主要用途・実例】・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：2組 ■センタリングユニット：2組 ■装置サイズ：（例）1800×1000×1400(Φ4"本体) 　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スリットコーター（200mm□用）

実験用小型スリットコーター・基板サイズ：200mm ・粘度：数c…

徴】・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター・テーブル駆動：リニアモーター ...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組/CUP ■バック・エッジリンス：各1組/CUP ■高温ベークユニット：1組（Max400℃） ■低温ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）

ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！装置幅300mm自動レジスト塗布装置（コーター）

装置「幅」が300mm！ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装…

【主な仕様】 ■ウェハ搬送置台：1組 ■スピン塗布ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ1～2" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）300×1800×1800(Φ4"本体) その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

装置寸法：1000mm(W)×1000mm(D)×1650mm(H) 装置重量：300Kg程度液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム。1系統 50ml標準塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧。1個または2個制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用＜装置の使用例＞・自動車：ランプ、フロントガラス、バンパー等・レンズ：ハードコ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒットコーポレーション

半導体製造装置『スリットコーター』

独自のスリット技術を駆使した高品質なスリットコーター！

当社では、低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応する『スリットコーター』を提供しております。スリットノズルを採用。リニアでスライドさせ、高い精度で制御することでガラス基板にレジスト液を均一に塗布可能です。【特長】 ■低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応（粘度：1～10,000cp...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コンドー横浜工場

塗工機『スマートラボ』

研究・試作用途に最適！各種乾燥方式を選択可能な高精度設計塗工機

ているため、目的とする製品によっては生産機としても十分機能します。【特長】 ■研究、試作用途に対応した高精度設計 ■各種カセットチェンジコーターラインナップ ■各種乾燥方式（乾燥ノズルを選択可能） ■設置場所を選ばないコンパクト設計 ■クリーン対応詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノスマート

薄膜コーティング用特殊ガンバルブ（薄膜スプレーコータ装置用）

長年の試作技術とデータベースと、用途開発の様々なノウハウで、お客様のニ…

EMS、サーマルヘッド、水晶デバイスなどに応用されています。弊社では長年の塗布試作サービスの実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだ薄膜コーティング装置はご好評をいただいております。独自の特殊ノズルを採用し長期安定な塗布をご提案しています。塗布に問題があり課題やニーズなどがございましたら、ご相談を承ります。沈降しやすいディスパージョン液の塗布、立体形状コーティング（３Dコーティング）、薄...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーシングテクノロジーズ湘南藤沢研究所　

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

0rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム：ステッピングモーター駆動　ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr） ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

燃料電池MEA用小型スプレーコーター

燃料電池・水分解触媒インクの塗布にコーティングの周辺技術と豊富なデータ…

。これらすべてを勘案して、目的の試作を行うために最適化された条件を速やかに付与して、結果を得ることが出来る装置をご提供してまいります。【コーターの特長】・間欠吐出（パルス吐出）法でノズルの目詰まり無く安定吐出可能。・塗布液の循環機能により沈降・分離することなく均一塗布可能。・少量でも循環可能。・塗布液は少量（１cc )でも塗布可能。・特殊竜巻式（スワール）微粒化法...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーシングテクノロジーズ湘南藤沢研究所　

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：1組 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：1組 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12(角基板対応)" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

食品医療などの粉体化に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

特殊ノズルによる気化性が上がるため、有機・無機を問わず粉体化が可能な装…

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

有機ELの好適な　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

有機ELの高分子膜など実績多数の成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

液晶レジスト　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レジストやハードコートなど実績多数の成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

化合物半導体の成膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

高輝度LEDや半導体レーザー用成膜など実績多数の成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

太陽電池のハードコート等　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

太陽電池のTiO2やハードコート等実績多数の成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

自動車ランプの膜処理など　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

自動車ランプの着色や、フロントガラスの防曇膜に好適な成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

メッキ塗装に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

膜厚均一、自動車ボディカラーなど実績多数の成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

燃料電池に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

燃料電池の電極など実績多数の成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

プリント基板の成膜に好適　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

銅膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化など実績多数の成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

MEMSのレジスト膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

MEMSのレジスト膜など実績多数の成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

防曇膜など多数実績あり　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レンズ表面のハードコートや防曇膜に好適な成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

成膜コーター『SPM-300シリーズ』

塗布材料の塗着効率が高く、微少流量での成膜に適した成膜コーター

置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬液...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

インチカップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター回転表示…デジタル回転数設定…液晶タッチパネル薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式）レシピ設定…10プログラム ×50 パターンオプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンクユーティリティー…電源、真空、ドライエアー ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ