解説動画公開中『エマソンVanessaトリプルオフセットバルブ』

PRメタルシートでありながらゼロリークを実現。極低温から高温まで対応し、ア…

『エマソンVanessaトリプルオフセットバルブ』は、 世界中で30万台以上使われている高性能バルブです。 「Vanessa シリーズ30000」は、三軸偏芯構造と トルクシーティング型弾性メタルシートを使用し、 メタルシートでありながらゼロリークを実現しています。 ただいま、本製品の概要を分かりやすくご紹介した動画を公開中です。 カタログと併せてご覧ください。 【製品特...

メーカー・取り扱い企業： エマソンバルブアンドコントロールジャパン株式会社

Ｙ形３方ボールバルブ

PR流路にアルミナセラミックスリーブを採用し、耐摩耗性を強化しました。金属…

特長 ■空気輸送用に開発された３方ボールバルブで、圧力損失が少ない構造です。 ■流路にはアルミナセラミックスリーブを採用し、耐摩耗性を強化、金属コンタミも防ぎます。 ■スリーブ方式のため剝離しにくく、かつ異なる内径の組み合わせて流れ方向の凸部をなくしました。 ■シートリングには強化PTFEを採用し、アルミナセラミックカラーで流路から隔離しています。 ■インレットブランチとアウトレットブラ...

メーカー・取り扱い企業： アイシン産業株式会社

ソレノイドバルブ　EMVP

真空搬送用のソレノイドバルブ！

ソレノイドバルブ EMVPシリーズは、大流量でも圧力が落ちず真空ポンプや真空ブロアとの併用に適したソレノイドバルブです。 空圧式パイロット型電磁弁のため、省エネルギーかつ非常に速いバルブの開閉が可能です。常時開...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

コンボコントロールバルブ　SERIES 95.1/95.2

優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ

Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

チェックバルブ（落下防止弁）　SVK、SVKG、SVV

エアのリークを抑えて、真空圧を維持！

特長： チェックバルブ SVK, SVKG, SVVシリーズは、内蔵したボールが上下することによって、 吸込み時に回路を塞ぎ、主回路内の真空圧低下を抑制する落下防止弁です。 真空パッドに取付けることによって、パッド...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

真空発生器（コンパクトエジェクタ） SXP、SXMP

自己診断機能を搭載し、システム停止前に不具合を検出！

ンプや 外部信号出力により、回路状況をお知らせします。 （※新製品 SXPi, SXMPiシリーズでは、より詳細な値の確認や 　　設定変更を行うことができます） エアセービング機能や、バルブの切替回数に応じて自動的にエアセービング機能を解除し、 吸着搬送を継続しつつ、バルブの消耗を抑制するバルブ保護機能（安全対策機能）を標準搭載しています。 防水性・防塵性にも優れ、保護等級IP6...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

スロットルバルブ（流量調整弁） SW

エアの流量を調整でき、通気性のあるワークの搬送に最適！

スロットルバルブ SWシリーズは、流量を制限したいアプリケーションに有効な流量調整弁です。 流量を絞ることによって、システム全体の真空圧を維持でき、通気性の高いワークの搬送時に適しています。 バルブの両端にネ...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

大きな差圧に対応可能！

リーク量 バルブボディ、バルブシート : 1 × 10 – 9 mbar ls 1 使用圧力範囲 DN 63-80: 1 × 10 – 8 mbar～4 bar (abs) DN 100-16...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

真空規格品　真空バルブ・真空部品

機能性への挑戦

超える歴史の中で培われた技術と豊富な経験に基づく、アトーテック社の真空機器は多岐にわたる用途にご活用いただけるものと確信しています。 【特徴】 各種製品を取り扱っております。 ○クランプバルブ 　自動リークバルブ・手動バルブ・空気作動バルブ・三方バルブ ○クランプ継手部品 　クランプ・クランプフランジ・センターリング・Oリング・ブランクフランジ 　レジューサ・エルボ・ティ管・フ...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

ピエゾコントロールバルブ　CV-3000 series

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです

ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

リーク量（バルブボディ、バルブシート）: < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲: XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バルブ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

L型バルブ　アングルバルブ（ＩＳＯ規格のＮＷ−ＫＦフランジ付き）

成形・溶接ベローズを内蔵。長寿命のニーズにも応えます！

ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した 長寿命の真空バルブです。 ◆バルブ材質の真空側は全てステンレス(ＳＵＳ)で構成 ◆コンパクト設計により、小型・軽量化を実現 ◆正圧・逆圧...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

真空発生器（コンパクトエジェクタ） SBP-C

バルブ・スイッチ一体型の軽量コンパクトエジェクタ！

コンパクトエジェクタ SBP-Cシリーズは、 吸着バルブ付きの真空発生器です。真空スイッチや真空破壊機能の有無を選択することができます。 ノズルサイズは、0.5mm～2.5mmまでの6サイズをラインアップし、様々なアプリケーションに対応することが可能...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

ィ材質: ステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲: DN63-200 1 × 10-8 mbar～2 bar (abs) DN250-400 ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

L型バルブ　アングルバルブ　一般ＪＩＳ真空フランジ付

L型バルブ　アングルバルブ　一般ＪＩＳ真空フランジ付

ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

バルブ『TOYOOKI真空バルブ』

chuhatsu真空装置専用の高性能真空バルブ！

『TOYOOKI真空バルブ』は、遮断速度0.007秒の高速遮断を実現する 高性能真空バルブです。 溶湯センサーとの連動で高真空とバルブ誤動作が低減。 また、chuhatsu製コントローラーによりタクト短縮が可能に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央発明研究所

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

エータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JIS リーク量 バルブボディ アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-5 mbar ls-1 リーク量 バルブシート アルミニウム:...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

HVA社高真空・超高真空バルブ

高品質・コンパクトな高真空バルブ

HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。 -O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ

「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承...

メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社

真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンス...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-7 mbar Is-1 (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよびゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1 bar...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

『真空バルブ』総合カタログ

真空部品に特化したメーカーの各種真空バルブのご紹介

ト製品を設計・製造・販売する 技術サービスに特化した台湾の真空部品メーカー、Htc社の 製品カタログです。 一般産業用から研究開発に最適で長いライフサイクルが特徴の 「UHV小型ゲートバルブ手動式」をはじめとした各種バルブを多数掲載。 また、当社が輸入・販売したHtc社製品は、日本国内の当社工場に おいて修理・アフターサービスを行なっております。 【掲載内容】 ■ゲー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スプリード 本社

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ≤1 bar バルブ開方向:...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

配管部品　導入ガス流量調整バルブ「ベローズ式L型アングルバルブ」

配管部品　ガス量調整バルブ

ベローズ式で高真空領域まで使用できる高性能バルブです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 DN 10-50: 1 × 10-8 mbar～ 5 bar (abs) DN 63-80: ～4 bar...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

簡易型ストップバルブBV16A

ＮＷ１６真空フランジ接続の真空ボールバルブ

ボールバルブ式の簡易型ストップ弁で、NW真空フランジ接続です。 大気圧から中真空（＞１00Ｐａ）で使用できます。 BV25A（NW25-NW25接続）、BV1625A（NW16-NW25接続）、BV16A...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

真空発生器（コンパクトエジェクタ）SCPM

わずか80gのコンパクトエジェクタ！

コンパクトエジェクタ SCPMシリーズは、吸着バルブと真空破壊バルブ、フィルターが一体となったコンパクトエジェクタです。 わずか80gの軽量・小型タイプの真空発生器で、限られたスペースにも収まります。 ノズルサイズは、0.5mm、0.7mm、1...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

ベローズ式L型　アングルバルブ

ベローズ式L型　アングルバルブ

このバルブは、ベローズ式で高真空領域まで使用できます。バイトンOリングを使用することにより、ベーキングも可能です。ステンレス製なので、フランジのシール部分の傷などが心配ありません。 【特長】 ●高真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

バタフライバルブ　SERIES 21.0

コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

-頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ -差圧での動作が可能...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル...サイズ: DN63-250mm アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: 15.0/15.1 アルミニウム、15.2 ステンレススチール 軸シール: 15.0 O-リング軸シール、15.1/15.2 ベローズ軸シール 標準フ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

真空パッド 真空発生器　VMECA「Vグリップ」

ワークの当たる部分での吸着が可能、サイズ違いのワーク搬送に最適！Vグリ…

『VMECA　Vグリップ』 Vグリップは真空パッドと真空発生器が一体型タイプです。 真空パッド内部のチェックバルブモジュールによって様々なワーク形状に対応が可能。最適な吸着ソリューションをご提供いたします！ 【特長】 ●多様なサイズの製作が可能（80mm×150ｍｍから300ｍｍ×1200ｍｍ） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

VAT社　真空バルブ

信頼のVAT社真空バルブが3日目出荷の短納期！

こんなお悩みございませんでしょうか？ ・海外ブランドのため、納期が1か月以上かかってしまう。 ・VAT社のバルブを購入したいが、長納期で困ることがある。 そんなお悩み解決します！ ▼詳しくはこちら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミスミ

■事業紹介：真空機器販売【真空ポンプ・ベローズ・真空バルブ】

真空機器の販売も行っております。真空ポンプ・ベローズ・真空バルブをお探…

・ロータリーポンプ ・メカニカルブースタ ・ドライポンプ ・ターボ分子ポンプ ・イオンポンプ　等 ◆ベローズ フレキシブルチューブ 成形ベローズ 溶接ベローズ ◆真空バルブ アングルバルブ ゲートバルブ バタフライバルブ　等 ※詳細は、直接お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： スリーエス株式会社

超高真空バルブの世界市場シェア2023 YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル超高真空バルブのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月17日に発行しました。本レポートでは、超高真空バルブ市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、超...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

遅延真空電磁弁

遅延真空電磁弁

油回転式真空ポンプが停止すると、ポンプ内の油が真空装置側へ逆流するオイルバックが発生します。これを防ぐには、ポンプが停止し、メインバルブが完全に閉止した後にポンプの吸気側を大気圧に戻す必要があります。遅延真空電磁弁は、メインバルブとポンプとの間に設置するだけで、通常のON-OFF時だけでなく、停電時も、真空装置側へのオイルバックを...

メーカー・取り扱い企業： 日本精器株式会社

コガネイ　真空バルブユニット

コガネイ　真空バルブユニット

真空ポンプを使用した吸着搬送システムの制御に最適なバルブユニットです。搬送システムにおいて、吸着パッドの微小ワークを高速に脱着できるので、システムの高タクト化につながります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コガネイ

ＶＡＴ社ミニＵＨＶゲートバルブ

真空バルブの世界標準、ＶＡＴ社のミニＵＨＶゲートバルブです。

ＶＡＴ社独自のＭＯＮOVAT機構により、ショックフリー、パーティクルフリーな動作で、高真空を保ちます。 軸シールはベローズ、ボンネットシールはメタルを使用しています。...●フランジサイズ：ICF70、NW25KF、NW40KF、NW50KF ●アクチュエータ：手動式、圧空式（複動、単動） ●オプション：リミットスィッチ、電磁弁 ●使用圧力範囲：0.2MPa～10e-8Pa ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

Lゲートバルブ　SERIES 92.0

半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮…

-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト...サイズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ（超大型）

角型ゲートバルブ（超大型）

１０世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 開口サイズ: 50 ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

耐熱204℃カプラと真空バッグコネクタ　オートクレーブ・乾燥炉用

特殊シールで200℃を超える仕様の耐熱カプラ　VC200(オスメスセッ…

に取り付けることができるように設計されています。 VC200は、オスとメスの2つのパーツで構成されています。 接続すると気密性が高くなり、空気を通すことができます。 取り外すと自動的に内部のバルブが閉じ、カップリングの片側からの空気の漏れを防ぎます。 VC200はＣＦＲＰ等の複合材料用にカスタムメイドされています。 高温高圧のオートクレーブにも対応します。シールはシリコン＆PTFEを使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トミタ

ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』

小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介

『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反映...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社