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半導体製造装置におけるプロセスの遅延時間を低減するシリアル・ツー・イー…
半導体ウエハの製造は、高精度なプロセスです。 フォトレジスト、薄膜、エッチング、およびCMPといったさまざまな主要な プロセスグループに分類され、300以上の製造工程を必要とします。 典型的な薄膜またはエッチングデバイスは、真空ターボポンプ、R...
メーカー・取り扱い企業: アイ・ビー・エス・ジャパン株式会社
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