【総合カタログ進呈】様々なポンプ製品と移送ソリューションをご提供

PR市場に特化した幅広い高性能ポンプをご用意。お客様の用途にカスタマイズし…

当カタログは、日本シーペックス株式会社で取り扱う、様々なポンプ製品と 移送用途に合わせたソリューションをご紹介している総合カタログです。 用途に合わせてご使用いただける各種ポンプやスマート移送テクノロジー「SCT」など 各製品の特長や利点などを詳しく掲載。 また、当社のシステムソリューション事例も掲載しております。 製品選定の際に是非お役立てください。 【掲載内容(抜粋)】 ■お客様に用途に...

メーカー・取り扱い企業： 日本シーペックス株式会社

バイキングポンプ『ユニバーサル・マグドライブ』

PR高水準の液封が可能！寸法的に互換性のあるマグネットドライブ・シールレス…

『ユニバーサル・マグドライブ』は、バイキングユニバーサルシール、 及び内転式高揚程ポンプと寸法的に互換性があるバイキングポンプです。 高水準の液封技術を提供。 パッキン又はメカニカルシールからシールレス・マグドライブへ 容易なアップグレードを可能とします。 【特長】 ■シールメンテナンスの手間を省く ■寸法的に互換性のある設計が再配管の手間を省く ■高水準の液封が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 東興産業株式会社 フローシステム事業部

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト…

成膜系：φ３インチカソード　１元装備 　　　：高周波電源　　　　　１源装備　 　　　：基板加熱機構標準装備 　　　：排気系　拡散ポンプ＆油回転ポンプ 操作系：全手動 オプション機構 磁性材用カソード　コンベンショナルカソード　ＤＣバイアス 逆スパッタ機構　バイアススパッタ機構　基板高温加熱 主ポンプ変更（ターボ分子ポン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

６００ｍｍ□×６００ｍｍＨ／バッチの大量バッチ処理 炉内全面ヒーターの均一加熱 ドライポンプ＋ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系 高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応 基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

標準仕様 ４インチカソード３元装備による多層成膜 ターボ分子ポンプ＋油回転ポンプの高速排気 逆スパッタと基板加熱機構の標準装備による高い膜質の実現 １ｍ□のコンパクトな筐体に多機能を実現 上位機種の各部ユニットを搭載可能...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標準装備。短タクト処理を実現。 拡張機能により６インチウェハまで対応。 水素雰囲気...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型蒸着装置（ＡＡＨ型　自動車部品用）

樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置　長尺樹脂成形品の成膜に最適　…

電子銃２～３台を使用。最大１８００ｍｍＬの基板の成膜が可能。基板の自公転回転機構により基板の全面成膜を実現。大口径拡散ポンプ＋ポリコールドチラーの高速排気で短タクトと高速水分除去。高品質な蒸着膜を形成。各種成膜プロセスも専用ＰＣにてレシピ管理＆データロギング。管理容易な全自動システム。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店