ポンプ | イプロスものづくり

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真空ポンプに捕捉フィルターをつけてポンプトラブルを事前に防止！

PR捕捉フィルターがカギ！樹脂・化学業界にもドライポンプが使用可能に。ドラ…

当社がご提供する「HSコレクター」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムです。ポンプトラブルを事前に防ぐ方法はないかと多々ご相談を頂くことが多くあったので、真空ライン中のオイルミスト・溶剤・モノマー・オリゴマー等を最も効率よく捕捉し、メンテナンス性・耐薬品性にも考慮して開発しました。また、ドライ真空ポンプとセットでご提供も可能です。省エネ・低...

メーカー・取り扱い企業：エイチアールディー株式会社本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI
高性能・高圧多用途ポンプ【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...
メーカー・取り扱い企業：株式会社プラステコ本社
VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で　運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能　その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社四葉機械製作所
多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450）有り・最大基板サイズ：Φ8inch ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプ可）・真空排気：真空/ベント自動制御・抵抗加熱蒸着：最大4源点（Model. TE1～TE4蒸着源）・有機蒸着：最大4源（Model...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
真空ポンプ/メンテナンス部品

真空ポンプ用メンテナンス部品

各種海外製真空ポンプ用メンテナンスキット、構成部品など...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミヤビインターナショナル
ポンプ・メンテナンスの改造、移設等、休日対応も承ります。

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております…

真空蒸着機は一般的な稼働状態で１～２年に１度のメンテナンスが必要です。弊社では、これまでに新旧様々なタイプの真空蒸着機や真空ポンプなどのメンテナンス、修理、移設、カスタマイズ等を行ってまいりました。特にメンテナンス作業では装置の細かい部分まで分解しクリーニングすることを心がけております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フジメカニック
排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

半導体・液晶製造装置の排気ラインは大量のパウダーにより常に汚染や閉塞の危険が伴います。当製品は既設の希釈用Ｎ２ガスを利用してこれらの諸問題を簡単且つ低コストで防止、解消します。また、クライオポンプのオーバーホールサイクルの向上、延命の他、ロードロック室のパージにも優れた効果を発揮します。...

メーカー・取り扱い企業：エヴァンリード株式会社
立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定…

【仕様（抜粋）】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■到達真空度：1Pa以下 ■真空ポンプ：ロータリーポンプ＋メカニカルブースターポンプ ■排気圧力コントロール：手動（オプションで自動可） ■成膜対象物：最大Φ100mm×500mm ■高周波出力：最大1kW ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業：株式会社DINOVAC
高周波レーザーCVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…

【仕様】 ■排気系：ロータリーポンプ（ターボポンプ御要望の場合は別途御相談下さい） ■試料ステージサイズ：20 × 40 ■試料ステージ回転機構：ステッピングモーター（回転速度可変可能） ■真空計：ピラニー真空計 ■レーザー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-100/MC-200』

最大成膜温度は800℃！チャンバー加熱機構で最大4x DLI気化器を搭…

スチールステンレス製チャンバーの DLI-CVD/DLI-ALD装置です。最大200mm径基板対応、マスフローコントローラーは最大「MC-100」が8、「MC-200」は6で、ターボポンプ搭載可能となっております。ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。【特長】 ■最大200mm径基板対応 ■最大成膜温度：800℃ ■最大4x DLI気化器を搭載可能 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/CNT合成装置

◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWN…

x 40mm：銅（ニッケル）箔, SiO2/Si, Al2O3/Si基板，他 ◆Model. nanoCVD-8G（グラフェン用）◆ ・グラフェン生成用，真空プロセス制御・ロータリーポンプ標準付属（オプション：TMP, Diffusion or Dry Pump）・ガス供給3系統（標準）・試料加熱ステージMax1100℃ ・Kタイプ熱電対 ◆Model. nanoC...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
商社が扱う【省エネ環境・安全システムエンジニアリング】

商社が扱う幅広い分野での省エネ環境・安全システムエンジニアリング！ …

アーブロー工程の省エネ改善 3.エアーブロー間欠運転による省エネ改善 4.コンプレッサーの省エネ診断 5.圧縮エアーのクリーン化、フィルター管理 6.送風機の省エネ診断 7.真空ポンプの省エネ 8.バグフィルター、パルスジェットエアーの改善【水】 1.エアコン室外機に水打ちによる電力量削減 2.ポンプの電力量削減 3.配管内のスケール除去による改善 4...

メーカー・取り扱い企業：共和工機株式会社
【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

◉ PID温度コントロール：Eurotherm 2416プログラム温度調節計 ◉ 流量制御：±1%F.S. 0sccm 〜 100, or 1000sccm（ガス種による） ◉ ロータリーポンプ付属...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

【仕様】 ■マイクロ波出力：1.5Kw ■排気：ロータリーポンプ ■導入ガス：5系統（配管加熱付き） ■温調：試料ステージ試料加熱（4系統） ■配管加熱（2系統） ■真空計：バラトロン ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
酸化シリコン成膜CVD装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…

【仕様】 ■真空排気：ターボポンプ ■ヒーター：SiC　MAX1200℃ ■水冷：外周蛇管　上フランジジャケット ■外寸：φ360 x 500H ■内面処理：電解研磨 ■ガスケット：金メッキ銅ガスケット ■チャンバー材...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
グラフェンCVD成膜装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

を合成するための管状炉熱CVD装置です炉のスライド移動機構を搭載、サンプルの急加熱／急冷が可能　　　オプションで、モータ駆動による自動スライド機能も追加可能　　オプションで、ターボ排気ポンプの追加により、さらに高品質のグラフェンが成膜可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ
スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450）有り・最大基板サイズ：Φ8inch ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプ可）・真空排気：真空/ベント自動制御・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源）・有機蒸着：最大4源（Model....

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社