高性能ブレードタイプミスト分離装置　ミストエリミネーター

PR長寿命！低コスト！特殊形状のブレードが20μm以上のミストを99.9％…

eブレードは、ミスト分離に優れた特性を持つ納入実績の多い装置です。特殊形状のミストエリミネーターブレードを使用しているため、20μm以上のミストを99.9％以上除去、回収する性能を持っています。また、圧力損失も低く、最大風速時でも300Pa以下です。 【特長】 ■風速が8m/secまでとれるため、コンパクト設計。 ■耐蝕FRP及びプラスチック製のため優れた耐蝕性。 ■特別な設計費等の発...

メーカー・取り扱い企業： イーテクノ株式会社 本社

真空ポンプ保護装置　標準HSコレクター　＜T型トラップ代替品＞

PR様々なパーティクルに対応でき、効率よく捕捉が行なえます！

「標準HSコレクター」は、フィルターの寿命を出来る限り永くする為に、パーツの選択が可能で、様々なパーティクルに対応でき、効率よく捕捉が行なえます。洗浄により半永久的に使用できる焼結金属フィルターとミスト回収用のセルロースフィルターが選択でき、また粒子により1～10μのデミスターを選択できます。ワンタッチで全ての部品が取り外せ、フィルターの交換が短時間で行なえ、ドレン部が全開口でき清掃が安易に行なえ...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

1流体スプレー方式の現像装置です。 現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。 大型基板や厚膜の現像に最適です。 スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ