ガラス加工のいろは

PR基本素材のガラスに異素材のスパイスを加え、様々な加工で新たな空間づくり…

『小口処理加工』や『切り欠き加工』、『孔明け加工』など様々な硝子加工をご紹介！ 貴社のご要望にお応えする加工がきっと見つかる資料を進呈中です。 ガラス加工にお困りの方は是非ご一読ください。 【詳細】 ■小口処理加工 ■切り欠き加工 ■孔明け加工 ■エグリ加工　　など ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。...※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 浜新硝子株式会社

ワイヤ放電加工で生産性向上UP！　短納期対応が可能に

PR【精密加工事例集進呈中！】スマートファクトリーのように省人化・自動化を…

当社が請け負っている仕事は、自動車や建設機械部品用のプレス金型やその関連部品の加工が全体の約5割を占めています。 最近では製造業の人手不足や長時間労働が社会問題になっているため、作業の機械化推進や生産効率アップといった取り組みが必要です。 当社としては、ワイヤ放電加工の生産性向上及び超短納期対応を可能にするため、２つの課題に取り組みました。 【課題】 ワイヤカット加工の生産効率...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社丸大精密

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

定領域を削ったり（スパッタ）、特定領域に炭素（C）・タングステン（W）・プラチナ（Pt）等を成膜することが可能です。また、イオンビームを試料に照射して発生した二次電子を検出するSIM像により、試料の加工形状を認識できます。 ・微小領域（数nm～数十μm）のエッチングによる任意形状加工が可能 （通常加工サイズ：～20μm程度） ・SEM・SEM-STEM・TEM像観察用試料作製（特定箇所の...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SSDP用加工］基板側からの測定用加工

基板側からの測定ができるように基板を削って薄片化

、試料表面の凹凸、イオン照射により表面側に存在する原子が奥側に押し込まれるノックオン効果やクレーター底面粗れ等の現象により、急峻な元素分布を得られない場合があります。この問題を解決するために、薄片化加工を行った基板側（裏面側）からSIMS分析を行うのがSSDP法（Back-Side SIMS法）です。この手法により、試料形状や測定条件に起因する影響を受けることなく、より正確な元素分布評価が可能にな...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

クライオ加工

やわらかいサンプルを冷却、硬化させ切削可能に

ことで硬化して切削可能 ・液体窒素付近の温度まで冷却することが可能 ・サンプル・雰囲気・ミクロトーム刃の温度はそれぞれ独立して設定可能 ・主に常温では柔らかい材料（生体試料・高分子材料など）の加工に有効で、ゲル状材料なども冷却することにより加工できる場合がある...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［IP法］Arイオン研磨加工

IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です

料に照射したときに試料表面から試料原子が弾き飛ばされるスパッタリング現象を利用して、試料表面を削り取る方法です。 イオン種は通常試料との化学反応の心配のない希ガス（MSTではAr）が用いられます。加工面のAES分析では遮光板成分（Ni,P）は検出下限以下でした。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ウルトラミクロトーム加工

ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過…

ウルトラミクロトーム加工とは、ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過電子顕微鏡用の超薄切片を作製する加工法です。イオンビームを用いた加工と異なり、大気中にて広範囲の切片を作製することができま...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

Arイオンミリング加工

機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…

Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】FIB低加速加工

FIB：集束イオンビーム加工

FIBを用いたTEM観察用薄膜試料作製法では、高エネルギーのGaイオン（加速電圧30kV)を用いており、加工面にダメージ層が生じ、TEMの像質低下の原因となっています。そこで従来より低加速(2kV)の加工を行うことでダメージ層が低減でき、像質が改善されました。 FIB低加速加工によりFIB加工面のダメー...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

細胞加工培養受託サービス

細胞加工・培養の委託先施設としてご利用いただけるよう、新設備の整ったC…

当社では、『細胞加工培養受託サービス』を承っています。 2015年、再生医療等の安全性の確保等に関する法律の施行にともない、全国の 医療機関からの細胞加工・培養の委託先施設としてご利用いただけるよう、 新設備...

メーカー・取り扱い企業： コージンバイオ株式会社

【分析事例】加工食品中エマルションのクライオFIB-SEM観察

構造を維持したまま水分・油分の分散状態を観察

エマルションは、水溶成分と脂溶成分を乳化剤の作用により分離なく混合した分散系であり、種々のエマルション技術が加工食品に広く利用されています。マヨネーズはその中でもO/W型（水中油滴型）の代表的な加工食品です。クライオFIB-SEM観察による評価を行った結果、水分・油・乳化剤などの分布を可視化することができまし...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

サービス　実験・受託加工

粉砕・乾燥・加熱・冷却・混合・造粒・表面改質等各機種による実験が可能で…

全ての装置・技術に対して実験対応しています。実験をご希望の際はお気軽にお問い合わせ下さい。また、受託加工もお受けしています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良機械製作所

『切削加工の受託試験』

切削加工の問題解決に貢献する受託試験！試験片レベルから実機サイズまで対…

『切削加工の受託試験』では、科学的なアプローチにより切削過程と 被切削材の特性を分析します。 加工時間の短縮をはじめ、工具寿命の延長や切屑処理性の改善に貢献。 試験片レベルから実機サイズまで対応...

メーカー・取り扱い企業： 橋本鉄工株式会社 臨海第一工場

【特注加工・受託サービスのご提案】抽出・洗浄

超臨界二酸化炭素試験装置による抽出試験を実施！

株式会社アイテックでは、マルチユースCO₂試験機を用いた、 無水・無溶剤抽出試験などの受託試験を行っています。 健康食品、医薬品、香料等の有効成分を原材料から 超臨界二酸化炭素を用い、抽出する技術で 二酸化炭素は気化するため乾燥工程が不要です。 また、半導体等の洗浄にも用いられます。 当試験は、国公立大学、国立研究機関、食品メーカー、医療品メーカーなど、 その他様々な業種での...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテック

【特注加工・受託サービスのご提案】高温・高圧場での各種テスト

ナノ粒子の合成！国立大学をはじめ納入実績多数！

株式会社アイテックでは、超臨界、亜臨界等の高温、高圧水場での様々な受託試験を行っています。 均一かつ微細な金属酸化物ナノ粒子を短時間で合成可能です。 お客様との打ち合わせを綿密に行い、ご希望に沿った試験プランを提案いたします。 試験は大阪の当社研究所内で実施し、お客様の立会いも可能です。 当試験は、国立大学、国立研究機関、化学メーカー、セラミックメーカーなど、 その他様々な業種で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテック

研究開発を強力サポート　「受託分析サービス」

お客様からお預かりした材料・製品の受託分析を行います。前処理から測定ま…

顕微鏡法 SCM　走査型静電容量顕微鏡法 SSRM　走査型広がり抵抗顕微鏡法 ○その他の測定法 白色干渉計測法 TG-DTA-MS,DSC　熱分析 EMS　エミッション顕微鏡法 『加工法・処理法』 ○FIB法 集束イオンビーム加工 ○SSDP用加工 基板側からの測定用加工 ほか その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ケミカルクリエイターの大成化工株式会社　事業紹介

思い描いた理想の商品を実現させるのは…ケミカルクリエイターの大成化工で…

式会社は、昭和58年千葉県成田市に塗料・インキ・コーティング材の設計開発製造の拠点として操業。 大成化工グループ内にはアクリル樹脂を代表とする製造技術を保有し、様々な分野でのお客様の要望する分散・加工中間体を提供しています。 研究段階の試作レベルから少量製造にも対応、電子分野向け特殊加工品のご依頼も多くいただいております。 また危険物第5類の自己反応物であるニトロセルロース（硝化綿）の加工や...

メーカー・取り扱い企業： 大成化工株式会社　分散・コーティング事業部 成田事業所

SIM像　3D再構築解析受託サービス

SIM像3D再構築解析の受託スタート！※材料開発や半導体、基板のトラブ…

ＦＩＢ加工観察装置によるＳＩＭ像の３Ｄ再構築解析の受託を始めました！！ 材料開発や半導体、基板のトラブル原因解明など、様々な分野で、お役にたちます！！ 【特長】 ■逐次加工・観察で再構築データを作成...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社

膜分析の受託サービス｜JTL

メッキや薄膜、多層膜の分析を多彩な手法で適切に実施致します。

主に断面研磨、イオンミリング（CP加工）、EDX、WDX、XRFの4つの手法から、メッキや薄膜などの観察・分析を実施致します。 無機物・有機物問わず、硬い膜や多層膜まで幅広くご対応しております。...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

クロスビームFIBによる断面観察

FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。

半導体デバイス、MEMS、TFTトランジスタなど ナノスケールで製造されるエレクトロニクス製品の構造解析を クロスビームFIBによる断面観察で行います。 １）FIB加工をリアルタイムで観察できるため目的の箇所を確実に捉えます。 ２）2つの二次電子検出器（In-Lens/チャンバーSE）により試料から様々な情報が得られます。 ３）加工用FIBと観察用低加速SEM...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス 分析解析・信頼性評価サービス

無料プレゼント！MST分析手法カタログVer.8

製品開発に欠かせない分析の情報をまとめた1冊です

析をご検討される際に必須の情報を網羅した1冊です。 Ver.8では新たに分析手法「軟X線発光分光法 SXES」「走査型非線形誘電率顕微鏡法 SNDM」「X線CT法」「超音波顕微鏡法 C-SAM」、加工法「レーザー加工」を掲載。また、各手法の掲載内容を最新の情報に更新しました。 お手元に置いて、分析サービスのご検討にぜひご活用ください。 【ご希望者全員に無料プレゼント】 お問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

立会による観察・分析サービス

お客様立会にて高分解能SEM観察・元素分析を承ります！

・多試料の観察を、試料を持ち込んでいただき、お客様立会にて対応します。 また、エネルギー分散型X線分析装置(SEM-EDX)による微小部の元素成分分析、マッピング分析もできます。 イオンミリング加工が必要な場合は、あらかじめ試料をお預かりし、加工後に立会にて観察・分析をおこないます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦セムテック株式会社

ホソカワミクロン株式会社　受託分析

迅速・正確・多面的・総合的！　幅広いニーズにお応えします。

あらゆる特性の測定・分析・評価ニーズに対応いたします。最新装置と熟練者による精度・再現性の高い測定が可能です。専門家による的確な分析評価・解析、詳細な分析技術相談も承ります。形態解析には「特殊な試料加工」、「形態観察」、「微細構造解析」など、物性評価には「比表面積（BET法）/細孔分布」、「粒子径分布」、「粒子形状」、「水分値」、「真密度」、「流動性・噴流性」、「付着性・凝集性」、「濡れ性・接触角...

メーカー・取り扱い企業： ホソカワミクロン株式会社

［Slice&View］三次元SEM観察法

FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を…

FIB付き高分解能SEM装置を用い、FIBでの断面出し加工（Slice）とSEMによる観察（View）を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます。また、SIM(Scanning Ion Microscope)像につい...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

サービス　光造形・粉末造形

短納期・低コスト・小ロット

金型を造らず、三次元データがあれば 加工開始が可能な為短納期を実現します。 また、複雑な形状ほど コストメリットが高くなります。 異種部品の同時造形・複数個部品作成が可能です。 加工できない形状が安易に作成可能であり、小ロットの生...

メーカー・取り扱い企業： 泉メタル株式会社

【分析事例】こんにゃく中のグルコシルセラミド定量分析

作物や加工品中のグルコシルセラミド定量分析が可能

保湿効果やアトピー性皮膚炎に対する改善効果があることから、近年注目されている成分です。肌に直接塗布する化粧品だけでなく、グルコシルセラミドを配合したサプリメントなどの健康食品や一般食品、飲料等多くの加工品が販売されています。 HPLCを用いることにより、原料となる作物や加工食品に含まれるグルコシルセラミドの量を高精度に分析することが可能です。ここではこんにゃくの分析事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

アイテス　装置一覧

アイテスの解析・評価・試験サービスに使用する装置一覧です

の課題に真摯に取り組む 解決提案型企業です。 各種保有装置を駆使し、最適なソリューションを提供します。 ■製品解析/不良解析/故障解析 　形態観察・電気特性測定・不良解析・故障解析・試料加工 ■信頼性評価試験 　信頼性評価試験・ESD/ラッチアップ試験・強度試験・光学特性 ■物理解析/化学分析 　物理解析・表面分析・化学分析...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス 分析解析・信頼性評価サービス

【分析事例】AESによるボンディング界面の元素分析

加工を併用することで界面の元素分析が可能

AES分析は最表面（～深さ数nm）の組成情報や元素分布を得る手法ですが、断面加工を併用することで、層構造内や構造界面でも同様の情報を得ることができます。合金層や元素拡散・偏析等の評価が可能であるため、デバイスの故障解析や不具合調査等に有効です。 以下にワイヤボンディングの接合...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】樹脂中に存在している異物の評価

試料の断面加工によりTOF-SIMSで樹脂中異物の評価が可能

樹脂中に存在する有機系の異物を評価する際、試料や分析の条件によってはそのままの状態での評価が困難な場合があります。そこで、樹脂を断面加工して異物を最表面に露出させることにより、評価が可能となった事例をご紹介します。 エポキシ系樹脂中に混入した数10μmの異物を断面加工により露出後、TOF-SIMSで評価しました。異物成分の同定と、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

銅線の内部組織観察

金属材料の内部組織をナノ領域まで観察できます！

軟質金属材料の結晶粒や非金属介在物(不純物)を観察する場合、変形や介在物の脱落等がないように、正確な断面試料を作成しなければなりません。 特に銅は機械加工により変形を起こしやすい材質です。 イオンミリング法により、機械加工による結晶粒(組織)の変形や非金属介在物の脱落を起こさずに断面試料を作成することができます。 また、電子顕微鏡の反射電子組成像...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦セムテック株式会社

計測サービス事業／受託計測／検査の業務委託／精密寸法検査

受託計測は、御社の 「精密加工部品の品質保証」 の助っ人です！

す。 お客様のご要望にお応え出来るよう 検査員の増員、検査設備・環境の拡充を行っており、 京都府下最大の品質管理スペース（320平方メートル／精密検査室は一定恒温室）では 月3万点以上の加工部品検査を行う容量がございます。 《ケース２ ： 検査に時間が掛かっている。》 エージェンシーアシストでは！ 短納期にもフットワーク軽く、対応出来る検査体制を整えています。 オー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト

［GDMS］グロー放電質量分析法

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

出された元素は大部分が中性ですが、Arプラズマ中でイオン化されます。 イオン化された原子を二重収束型質量分析器で測定し、元素の定性及び濃度の算出を行います。 試料内容や分析目的により、試料の加工法を選択します。 ピンセル方式：試料の加工が容易な場合。バルク分析に向いています。 フラットセル方式：試料の表面が平坦な場合。膜の分析や深さ方向分析に向いています。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

■使用する探針 シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています。 ■タッピングモード タッピングモードは、探針を約300kHzの高周波で強制振動させ、試料表面を走査し...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AES分析によるウエハ表面上の異物評価

加工無しで30nmサイズの組成分析が可能

ら数nm深さまでの組成情報を得る手法であり、製造工程において表面に生じた汚染や異物の組成を調べる際に有効な分析です。基板などの母材の情報を検出することが少ないため、異物など異常箇所のみの情報を前処理加工などを行わず簡便に調べることが可能です。また面分析を行うことで元素分布像を得ることができます。 本事例ではSiウエハ上に存在する異物について、AES分析を用いて評価したデータをご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価

凹凸のある構造でも平坦化加工により深さ方向分布評価が可能

としても広く用いられるようになりました。光の取り出し効率を高めるため、取り出し面に凹凸を設けることがありますが、この凹凸が深さ方向分析における深さ分解能の劣化を招きます。 テクスチャ凹凸面に平坦化加工を施すことにより深さ分解能の劣化を抑えて深さ方向濃度分布を評価した事例と、バックサイド(基板側)から分析を行った事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】バンプの広域断面観察

イオンポリッシュによる断面作製で微小特定箇所の広域観察が可能です

イオンポリッシュ(IP)法では、機械研磨法で問題となっていた加工ダメージ（界面の剥離・硬さの違いによる段差・研磨による傷など）が少ない断面の作製が可能です。加工位置精度も向上し、微小部位を含む広域断面作製も可能です。結晶の損傷が少ないため、綺麗な結晶パターンが得...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】歯のエナメル小柱の断面観察

FIB加工技術を応用し、エナメル質／接着材界面の全景を観察

るため接着材が用いられます。接着材には歯との強固な接着力と、治療後長期にわたって口腔内に発生する酸や熱などに耐久していく性能が求められており、接着界面の観察は評価･検討のための有効な手段です。FIB加工技術を使用した作製法を用いることにより、従来のダイアモンドナイフを用いた超薄切片では得られなかった有効な成果を得ることができましたので紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AFMによる注射針の表面微細構造観察

表面のコート膜の状態を評価できます

注射針等の金属加工面は一般的に粗くなりますが、粗い表面のまま注射針を使用すると、患者に不快感を引き起こす事が知られています。そのため、注射針には表面が粗い事による表面摩擦を抑えるために、生物学的不活性なシリコーン潤滑...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】近赤外VCSELのSMMによるキャリア分布評価

実装品の解体・加工から拡散層の計測までを一貫して行えます

近赤外VCSEL（面発光レーザー）の実装品を解体して微小なチップを取り出し、断面加工の後にSMM計測を実施しました。 VCSELの開口部を取り囲むように、高抵抗の電流狭窄層が観察されました。また、活性層近傍では材質の異なる膜が積層しており、この組成を反映したコントラストとして計測...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】雰囲気制御&冷却下でのSEM分析

雰囲気制御下での処理 クライオ加工 冷却 SEM： 走査電子顕微…

大気に暴露すると変質してしまうリチウムイオン二次電池材料や、加工・観察時の熱で変質する有機系材料等の試料は、TEM・SEMを用いて本来の構造を観察することが困難でした。 大気暴露することなく（雰囲気制御）FIB付き高分解能SEM装置で観察することで、粒子や電解...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ソフトマテリアルの断面観察と元素分析

クライオSEM観察-EDX分析で溶液試料の構造を直接評価

熱に弱い有機材料や液体試料の内部構造を観察・分析するには、加工や電子線照射による温度上昇を抑え、試料本来の構造を保ったまま一連の分析を行う必要があります。 本事例では化粧品を評価サンプルとし、冷却環境を維持したまま断面FIB加工・SEM観察・EDX分析までの...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】クライオSEMについて

クライオ加工冷却SEM： 走査電子顕微鏡法

料の構造を観察するには、試料本来の構造を維持した状態で一連の分析をする必要があります。クライオSEMでは、試料を急速凍結して割断面を作製することで、試料構造を観察することができます。 さらにFIB加工による断面作製技術を組み合わせることで、より詳細な内部構造の情報を得ることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【試験設備完備】スプレードライヤでの試験承ります！

小規模のテスト検証から少量サンプル加工まで！製品実現のためのテストを承…

静岡県富士宮市にて、お客様の希望の粒子が得られるよう、最新の試験設備を完備し、常時専門技術者が各種テストを行なっております。新製品開発、品質向上、省力化にご利用下さい。 又、受託加工もお受けしております。まずはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大川原化工機株式会社

【分析事例】有機EL層の定性分析

雰囲気制御下での測定面出し加工により成分の変質を抑制

有機ELを搭載した市販のデジタルオーディオプレーヤーについて、雰囲気制御下で測定面を出すことで加工による変質を抑えて、成分の定性分析を行いました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】マイクロサンプリング法

FIB：集束イオンビーム加工

試料から直接小片を取り出し（マイクロサンプリング）、FIB加工を行うことができます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ニシハラ理工株式会社　事業紹介

60年以上培った信頼の“めっき技術”！お客様の声にお応えするニシハラ理…

Process Support Engineering」として、製品の企画から開発、製造、組み立てに至るまで、高付加価値を実現できるご提案をさせていただいております。 【事業内容】 ■めっき加工 　・樹脂材へのめっき 　・アルミ材へのめっき 　・フレージョン（高精度部分めっき）など ■めっき液の分析及び、めっき皮膜の特性の解析 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： ニシハラ理工株式会社

パワーデバイスの故障解析

ダイオード、MOS-FET、IGBT等のパワーデバイスの不良箇所特定・…

　　低倍最大視野：6.5mm角 ・特定位置精度：　±0.3um、試料厚1.5um～0.1um ・機械研磨SEM観察：　大きな破壊箇所・異物・広範囲の観察 ・拡散層観察：　TEM試料加工前に不良箇所近傍にて観察可能 　　　　　　　構造により前処理が必要な場合あり ・FIB-SEM観察：　クラック・形状異常・拡散層観察（～×50k） ・断面TEM観察：　ゲート酸化膜の破...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス 分析解析・信頼性評価サービス