• 【高精度に検査】Siウェハー表面評価装置 製品画像

    シュリーレンレンズ搭載により、微小域まで高精度検査が可能

    弊社が長年培ってきたシュリーレン法の技術と、鏡の裏側の文字や造形等の凹凸を映し出す魔鏡の原理を応用して、Siウェハー等基盤の表面状態(加工痕・凹凸・歪・面荒れ等)を非接触且つ高精度に検査致します。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...(つづきを見る

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