• エアースライダー超精密ステージ 製品画像

    ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポ…

    リニアモーター駆動でエアベアリング採用加工点が低く、 角度変化を最小限に抑制。 マグネットムーブ採用により、移動負荷を極限まで低減。 対磨耗性、温度変化に対応するため、セラミック素材も選択可能。 ウェハーの加工や超短パルス...(つづきを見る

  • 大型ガントリータイプXYステージ 製品画像

    ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポ…

    リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...(つづきを見る

  • 縦置きステージ 製品画像

    ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポ…

    【超精密加工用ステージ】 製品に非接触で加工するレーザーによる超高速な微細加工は、エレクトロニクス産業や自動車操業を始めとして、様々な用途に応用されています。 そこにはファインディバイスのコア技術である...(つづきを見る

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