• 【総合カタログ進呈中】超精密位置決めピエゾステージ 製品画像

    ピエゾステージの選定に!最高1nmの分解能と優れた応答性!応用例も掲載…

    ステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体・液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組み合わせユニット対応 豊富なラインナップ、応用例...(つづきを見る

  • ナノコントロール 超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ 製品画像

    最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです

    透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」、対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」、アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」、超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」、変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」、電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、多数掲載されています。 ...(つづきを見る

  • 精密・多軸ステージ 製品画像

    FPDや太陽電池製造などの大型ステージの精密制御にも活躍しています

    な多軸制御、さらには軸動作と同期したヘッド制御など、緻密モーションと豊富なモーション機能が活躍できるチャンスが拡大しています。 FPD製造設備、太陽電池の製造設備、高速・高精度ステージ、高速レーザ加工機等に適しています。 詳しくはお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

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